[发明专利]一种阵列分束方法有效
| 申请号： | 200810147607.7 | 申请日： | 2008-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN101520549A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 熊学仕;李泽仁 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B1/10 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621900四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种阵列分束方法，其特征在于包括下列内容：
一束平行光经多光束产生器件变为多束平行光束，多束平行光束再经多光束能量均匀化组件处理变为一列能量均匀的平行光束；能量均匀的平行光束依次经过另一套多光束产生器件和多光束能量均匀化组件，每束平行光再变为一列平行光束，得到能量均匀的平行光束阵列；
所述的多光束产生器件为一片三面镀膜的平板玻璃，平板玻璃的入射面镀增透膜，上表面镀高反膜，下表面镀全反膜；
所述的多光束能量均匀化组件由两面镀膜的平板玻璃和三片全反镜组成；平板玻璃的上表面镀增透膜，下表面镀一定反射系数的反射膜。
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