[发明专利]X射线照射系统以及X射线照射装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种X射线照射系统以及X射线照射装置。

背景技术

一直以来X射线照射装置是众所周知的(例如参照日本专利文献 1、2)。在日本专利文献2中记载了，使用例如来自于日本专利文献1 所记载的X射线照射装置的软X射线，除去产生于基板的静电的系统。 特别是在该系统中，进行控制以使软X射线不会对基板照射规定时间 以上并对基板进行去除静电，由此抑制例如像显影不均匀的存于基板 上的不良状况。

[专利文献1]：日本专利公开2004-356056号公报

[专利文献2]：日本专利公开2000-21726号公报

发明内容

在如上所述的系统中，优选例如在将抗蚀剂涂布于基板上的装置 内配置X射线照射装置，在该抗蚀剂涂布装置内在空气流动的面上X 射线照射装置和除此之外的部分相隔离。也就是说，不优选X射线照 射装置内的气体等从X射线照射装置冒出并大量地流入到抗蚀剂涂布 装置内，或者抗蚀剂涂布装置内的气体(有机溶剂)等流入X射线照 射装置内。因为，当X射线照射装置内的气体从X射线照射装置中泄 露并大量流入到抗蚀剂涂布装置内时，成为对抗蚀剂涂布装置的污染 和清洁度下降的原因。另外，在涂布抗蚀剂的工序中所存在的自由基 (radical)气体侵入到X射线照射装置内时，因该气体使X射线照射 装置内的部件等受到损坏。另外，在充满可燃性的例如有机溶剂的情 况下，当该可燃性溶剂混入到X射线照射装置时，因在X射线照射装 置内发生的火花等，存在在X射线照射装置内发生点火或者爆炸的危 险。另外，在如上所述使用可燃性的溶剂或使装置污染且洁净度下降 的情况，并不只局限于抗蚀剂涂布装置，例如在显影处理装置中也会 有同样的问题。

因此，本发明鉴于上述事实，其目的在于提供一种X射线照射系 统及X射线照射装置，可提高X射线照射装置的密闭性。

为了解决上述课题，本发明的X射线照射系统具备，上述X射线 照射系统具备，照射X射线的X射线照射装置、控制上述X射线照射 装置的X射线控制装置、电连接上述X射线照射装置以及上述X射线 控制装置的电缆；上述X射线照射装置具备：X射线管、驱动上述X 射线管的驱动部、容纳上述X射线管以及上述驱动部并具有开口部的 筐体、设置于上述筐体并在对应于上述开口部的位置上具有开口的板 状的部件；上述电缆具备：设置于该电缆的一端，用于将该电缆的一 端与电连接于上述驱动部的连接端子装卸自如地连接的连接器、包围 上述连接器的筒状的部件；上述驱动部和上述电缆，利用上述连接端 子以及上述连接器，经由上述筐体的上述开口部以及上述板状的部件 的上述开口，装卸自如地电连接。此时，优选在上述筒状的部件的一 端，使配置在上述一端上的雄螺纹部和配置在上述板状的部件的上述 开口上的雌螺纹部相旋合，在上述筒状的部件的另一端设置有用于夹 钳上述电缆的夹钳部件，并且上述另一端和上述夹钳部件相旋合。

在如此的本发明的X射线照射系统中，连接器装卸自如地连接电 缆和X射线照射装置。因此，例如将夹钳部件从筒状的部件上松懈并 且在将筒状的部件从板状的部件上进行松懈之后就能够把电缆从X射 线照射装置上拆卸下来，由此，就能够在X射线照射系统中单独更换 X射线照射装置。其结果，与X射线照射装置的寿命无关，除了X射 线照射装置之外的部分，总之，例如X射线照射装置即使是到了其寿 命之后也能够就这样继续使用电缆或者X射线控制装置。还有，也可 以对应于X射线管的管球的寿命来进行对X射线照射装置的更换，在 该情况下，在X射线照射系统中不论X射线管的管球的寿命而能够继 续使用X射线照射装置以外的部分。

再则，筒状的部件包围有连接器，筒状的部件的一端是由板状的 部件的开口被旋合，而筒状的部件的另一端是与夹紧电缆的夹钳部件 相旋合。由以上的构成就能够保持在板状的部件、筒状的部件以及夹 钳部件上的密闭性，其结果，也就能够抑制在板状的部件、筒状的部 件以及夹钳部件的周边发生气体的流出与流入。

在本发明的X射线照射系统中，优选在所述筒状的部件的一端上 具备为了密闭所述板状的部件和该筒状的部件的第1密封部件，在所 述筒状的部件的另一端上具备为了密封所述夹钳部件和该筒状的部件 的第2密封部件。