[发明专利]照明光学系、曝光装置、及器件制造方法

权利要求书

1.一种照明光学系，使用来自光源的光来照明被照明面，其特征在于，具备：

用于调整上述光的偏振光状态的偏振光元件；以及

配置在上述偏振光元件和上述被照明面之间的反射镜，

向上述反射镜的光线入射角度是45度±30度。

2.一种照明光学系，使用来自光源的光来照明被照明面，其特征在于，具备：

用于调整上述光的偏振光状态的偏振光元件；以及

配置在上述偏振光元件和上述被照明面之间的透镜组，

向上述透镜组的各透镜的光线入射角度是0度±50度。

3.一种照明光学系，使用来自光源的光来照明被照明面，其特征在于，具备：

用于调整上述光的偏振光状态的偏振光元件；以及

测量上述被照射面中的偏振光状态的测量器，

根据上述测量器的测量结果，使用上述偏振光元件来调整上述偏振光状态。

4.根据权利要求3所述的照明光学系，其特征在于：上述偏振光元件是使规定的偏振光方向的光透过的偏振镜或改变上述偏振光状态的相位板。

5.一种照明光学系，使用来自光源的光来照明被照明面，其特征在于，具备：

使规定的偏振光方向的光透过的偏振镜；以及

将从上述偏振镜射出的光的偏振光状态变换为规定的偏振光状态的偏振光元件。

6.根据权利要求5所述的照明光学系，其特征在于：上述偏振镜至少具有一个形成有电介质多层膜的面，在上述光源和上述偏振光元件之间的光路内，上述面配置成相对上述照明光学系的光轴倾斜大于等于15°小于等于65°。

7.根据权利要求6所述的照明光学系，其特征在于：配置在上述光源和上述偏振光元件之间的光路中的第一光学系满足以下式子：

m+2σ<5.0nm/cm

其中，m：上述第一光学系的面内双折射量的平均值，

      σ：上述第一光学系的面内双折射量的标准偏差。

8.一种照明光学系，使用来自光源的光来照明被照明面，其特征在于，具备：

用于调整上述光的偏振光状态的偏振光元件；

配置在上述偏振光元件和上述光源之间的光路内的第一光学系；以及

配置在上述偏振光元件和上述被照明面之间的光路内的第二光学系，

设上述第一光学系的面内双折射量的平均值为m1、设上述第一光学系的面内双折射量的标准偏差为σ1、设A为常数，满足：

m1+2σ1<Anm/cm，

设上述第二光学系的面内双折射量的平均值为m2、设上述第二光学系的面内双折射量的标准偏差为σ2、设B为常数，满足：

m2+2σ2<Bnm/cm，

且A>B。