[发明专利]固体摄像装置及其制造方法

权利要求书

1.一种固体摄像装置，其特征在于：

该固体摄像装置包括：

半导体基板，

多个受光部，在所述半导体基板上呈矩阵状排列，

多个滤色片，形成在所述受光部上，

多个微透镜，形成在所述滤色片各自的上方，以及

多个抗反射膜，选择性地形成在部分所述微透镜表面；

所述抗反射膜被选择性地形成在具有规定光谱特性的滤色片上的微透镜表面。

2.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述抗反射膜的表面为平坦状。

3.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述抗反射膜的表面为沿着所述微透镜表面的曲面状。

4.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于：

在供所述受光部排列的像素区域的中央部分设置的抗反射膜，厚于在所述像素区域的周边部分设置的抗反射膜。

5.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述滤色片构成原色滤色片排列，该原色滤色片排列包含红、绿及蓝各个滤色片；

所述抗反射膜被形成在红滤色片上的微透镜表面。

6.根据权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述滤色片构成补色滤色片排列，该补色滤色片排列包含青、品红、黄及绿各个滤色片，

所述抗反射膜被形成在品红滤色片上的微透镜表面。

7.一种固体摄像装置，其特征在于：

该固体摄像装置包括：

半导体基板，

多个受光部，在所述半导体基板上呈矩阵状排列，

多个滤色片，形成在所述受光部上，

多个微透镜，形成在所述滤色片各自的上方，以及

多个抗反射膜，形成在所述微透镜表面，并根据各个所述微透镜来设定其抗反射膜的厚度；

所述抗反射膜采用比所述微透镜折射率低的感光性材料形成。

8.根据权利要求7所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述抗反射膜根据所述滤色片的光谱特性，而具有不同的厚度。

9.根据权利要求7所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述抗反射膜的表面为平坦状。

10.根据权利要求7所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述抗反射膜的表面为沿着所述微透镜表面的曲面状。

11.根据权利要求7所述的固体摄像装置，其特征在于：

在供所述受光部排列的像素区域的中央部分设置的抗反射膜，厚于在所述像素区域的周边部分设置的抗反射膜。

12.根据权利要求8所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述滤色片构成原色滤色片排列，该原色滤色片排列包含红、绿及蓝各个滤色片，

形成在红滤色片上的微透镜表面的抗反射膜，厚于形成在蓝及绿各滤色片上的微透镜表面的抗反射膜。

13.根据权利要求12所述的固体摄像装置，其特征在于：

形成在绿滤色片上的微透镜表面的抗反射膜，薄于形成在蓝滤色片上的微透镜表面的抗反射膜。

14.根据权利要求8所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述滤色片构成补色滤色片排列，该补色滤色片排列包含青、品红、黄及绿各个滤色片，

形成在品红滤色片上的微透镜表面的抗反射膜，厚于形成在青、黄及绿各个滤色片上的微透镜表面的抗反射膜。

15.根据权利要求14所述的固体摄像装置，其特征在于：

形成在绿滤色片上的微透镜表面的抗反射膜，薄于形成在青及黄各个滤色片上的微透镜表面的抗反射膜。

16.一种固体摄像装置的制造方法，该固体摄像装置包括半导体基板、和在所述半导体基板上呈矩阵状排列的多个受光部，其特征在于：

在所述受光部的上层形成多个滤色片，

在所述滤色片各自的上层形成多个微透镜，

在所述微透镜各自的表面上涂敷具有比所述微透镜的折射率低的折射率的感光材料，

用光掩模对所述感光材料的一部分进行曝光，在部分所述微透镜表面选择性地形成多个抗反射膜；

将所述抗反射膜选择性地形成在具有规定光谱特性的滤色片上的微透镜表面。