[发明专利]晶体硅太阳能电池的选择性扩散方法

说明书

技术领域

本发明涉及晶体硅太阳能电池的生产技术领域，特别是一种晶体硅太阳能电池的选择性扩散方法。

背景技术

晶体硅太阳能电池占据了光伏市场的90％以上的份额，如何进一步提高效率，降低成本是国内外晶体硅太阳能电池研究领域的基本目标。

在硅片上实现选择性发射极结构是p-n结晶体硅太阳能电池实现高效的方法之一。所谓选择性发射极结构有两个特征：1)在电极栅线下及其附近形成高掺杂深扩散区；2)在其他区域形成低掺杂浅扩散区。实现选择性发射极结构的关键便是如何形成上面所说的两个区域。实现选择性发射区的方法有很多种，最常见的有光刻、激光开槽。但这些方法对太阳能电池制造而言过于复杂，只能应用于实验室或小规模的生产中，难于在常规电池的产业化生产中推广。

发明内容

本发明的目的是要提供一种实现晶体硅太阳能电池选择性扩散的方法，该方法可提高晶体硅太阳能电池的效率，适用于产业化生产。

本发明采用的技术方案是：一种晶体硅太阳能电池的选择性扩散方法，首先将磷浆按照一定间隔选择印刷在晶体硅片表面，烘干浆料，然后进行扩散，去磷硅玻璃，再扩散。

扩散为高温扩散。

磷浆按照一定间隔选择印刷的位置与正面电极的印刷位置相同。

本发明的有益效果是：按照上述方法可以方便地得到太阳能电池选择性扩散结构，方法简单，易实现，污染小，适于产业化生产。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的选择性扩散结构示意图。

图2是本发明的工艺流程图。

图中：1.硅片，2.高掺杂区，3.低掺杂区，4.磷浆。

具体实施方式

如图1和2所示一种晶体硅太阳能电池的选择性扩散方法，首先将磷浆4按照一定间隔选择印刷在晶体硅片1表面，硅片1表面已经进行清洗制绒处理，然后烘干浆料，进行一次扩散，去磷硅玻璃，再扩散。扩散为高温扩散。

正面电极的印刷位置与磷浆4按照一定间隔选择印刷位置相同，即将高浓度磷浆4如电极栅线状印刷到硅片1表面。然后将此硅片1放入扩散炉中进行扩散，用于在磷浆4印刷区形成高掺杂区2。在这一步扩散中，印刷磷浆4的区域会形成硅磷玻璃，硅磷玻璃会对磷原子往硅片1深处的扩散有消弱的作用，不利于下一步的扩散工艺。所以在一次扩散后，需要去除硅片1表面形成的硅磷玻璃。去除硅磷玻璃可以使用化学腐蚀如使用氢氟酸。在去硅磷玻璃后进行二次扩散，用于在非印刷形成低掺杂区3。

硅片1完成选择性扩散后再次进行去硅磷玻璃，然后进行刻边，镀氮化硅、减反射膜，印刷背面电极、印刷铝背场，印刷正面电极，烧结制成电池成品。