[发明专利]采用隔振框架解耦的硅微陀螺及其制作方法有效
| 申请号： | 200810143293.3 | 申请日： | 2008-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101368826A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 吴学忠;李圣怡;肖定邦;侯占强;董培涛;满海鸥;王浩旭 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 | 代理人： | 陈晖 |
| 地址： | 410073湖南省长沙市砚瓦池正街47*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 框架 陀螺 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种采用隔振框架解耦的硅微陀螺，其特征在于：它包括第一基板(1)和位于第一基板(1)上方的第二基板(16)，所述第一基板(1)上设有两个检测电极(2)，所述第二基板(16)包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称布置的驱动质量块(7)、可沿检测方向振动的两个结构相同且对称布置的检测质量块(14)、驱动电极以及隔振框架组件，所述两个检测质量块(14)位于第一基板(1)上两个检测电极(2)的上方，隔振框架组件位于第二基板(16)的中部，隔振框架组件的两端分别通过弹性梁与驱动质量块(7)和检测质量块(14)相连，所述隔振框架组件包括隔振框架(13)和框架支撑梁(11)，框架支撑梁(11)固定于隔振框架(13)的内部，所述隔振框架(13)的外侧分别通过弹性梁与两个驱动质量块(7)和两个检测质量块(14)相连。
2.根据权利要求1所述的采用隔振框架解耦的硅微陀螺，其特征在于：所述第二基板(16)的中部通过中间锚点(15)固定于第一基板(1)的上方，所述隔振框架组件中框架支撑梁(11)通过刚性梁(12)与中间锚点(15)相连。
3.根据权利要求1或2所述的采用隔振框架解耦的硅微陀螺，其特征在于：所述驱动质量块(7)和检测质量块(14)以及隔振框架组件上均开设有阻尼孔(8)。
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