[发明专利]菲林光罩修补液及修补方法

权利要求书

1、一种菲林光罩修补液，其特征在于：所述修补液为石墨的水溶液。

2、如权利要求1所述的菲林光罩修补液，其特征在于，所述石墨的水溶液的黑度值与菲林光罩表面药膜的黑度值相同。

3、如权利要求2所述的菲林光罩修补液，其特征在于，所述石墨的水溶液的黑度值≥4.0。

4、一种菲林光罩修补方法，其特征在于，包括以下步骤：

配液步骤，将石墨在温水中稀释至其黑度与菲林光罩药膜黑度相同，形成墨汁；

修补步骤，用修补棒将所述墨汁蘸入菲林光罩表面的针孔中至表面平整后，自然风干。

5、如权利要求4所述的菲林光罩修补方法，其特征在于，所述墨汁的黑度值≥4.0。

6、如权利要求5所述的菲林光罩修补方法，其特征在于，所述配液步骤，水的温度在35-40℃之间。

7、如权利要求6所述的菲林光罩修补方法，其特征在于，所述修补步骤中，风干时间为4-5分钟。

8、如权利要求4-7中任一项所述的菲林光罩修补方法，其特征在于，在所述配液步骤具体包括：

将温水倒入砚台中；

将石墨在装有温水的砚台来回研磨。