[发明专利]原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法

权利要求书

1、一种原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法，其特征在于它是按照以下步骤实现的：步骤一、准备试样和备用基底(2)：所述试样由薄膜(3)和基底(1)构成，所述薄膜(3)附着在基底(1)的表面上；步骤二、将所述试样迅速剪成两部分，得到薄膜(3)的真实垂直断面，将其中的一部分试样作为待测试样；步骤三、将待测试样以一定角度插入去离子水中；步骤四、待待测薄膜(3-1)漂浮于水面后；步骤五、用备用基底(2)将待测薄膜(3-1)缓慢捞起，使所述待测薄膜(3-1)平整地贴附在备用基底(2)的上表面(2-1)上，得到换基底后的待测试样；步骤六、待换基底后的待测试样干燥后，用原子力显微镜扫描待测薄膜(3-1)的真实垂直断面邻近区域，即可测出待测薄膜(3-1)的厚度。

2、根据权利要求1所述的原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法，其特征在于所述基底(1)使用云母制成。

3、根据权利要求1所述的原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法，其特征在于所述备用基底(2)的上表面(2-1)的面积大于待测薄膜(3-1)的面积。

4、一种原子力显微镜测量固体薄膜厚度的方法，其特征在于它是按照以下步骤实现的：步骤一、准备试样：所述试样由待测薄膜(4)和基底(5)构成，所述待测薄膜(4)沉积在基底(5)的上表面上；步骤二、将所述试样的一端插入去离子水中；步骤三、对所述试样进行超声处理，待待测薄膜(4)插入液面以下部分变为碎屑，从基底(5)上脱落，露出基底(5)得到待测薄膜(4)断面，即可停止超声处理；步骤四、取出超声处理后的试样，干燥后用原子力显微镜扫描待测薄膜(4)的断面邻近区域即可测出待测薄膜厚度。