[发明专利]包括TFT的有源矩阵驱动式显示装置

权利要求书

1.一种具有薄膜晶体管的有源矩阵驱动式显示装置，其中：

所述薄膜晶体管包括栅极层、栅极绝缘膜、被形成图案的半导体层以 及源极/漏极层，所述栅极层、栅极绝缘膜、被形成图案的半导体层以及源 极/漏极层相互关联地构造在绝缘基板上，且所述栅极层的厚度大于所述栅 极绝缘膜的厚度，且其中所述栅极层的侧面的一部分具有倒锥形结构，以 便所述栅极层的顶部悬垂于所述栅极层的底部上，从而所述栅极绝缘膜沿 栅极层的表面上具有不明显的凹陷，而不是具有锐角的楔形凹陷。

2.根据权利要求1所述的有源矩阵驱动式显示装置，其中所述栅极绝 缘膜在所述栅极层的互连线和所述源极/漏极层的互连线的交会处被置于 所述栅极层的互连线和所述源极/漏极层的互连线之间。

3.根据权利要求1所述的有源矩阵驱动式显示装置，其中所述栅极层 包括多个金属膜。

4.根据权利要求3所述的有源矩阵驱动式显示装置，其中所述多个金 属膜包括第一金属膜和覆盖在所述第一金属膜上的第二金属膜，并且所述 栅极绝缘膜的厚度等于或小于所述第一金属膜的厚度。

5.根据权利要求1所述的有源矩阵驱动式显示装置，其中所述栅极层 的厚度为200nm或以上，并且所述栅极绝缘膜的厚度比所述栅极层的厚度 小50nm或以上。