[发明专利]氮化铝或氧化铍的陶瓷覆盖晶片

权利要求书

1.一种氮化铝陶瓷覆盖衬底，包括：

氮化铝陶瓷晶片，具有大于160W/m-K的热传导率；

圆形几何形状，包括从约11英寸到约13英寸范围内的直径；

从约0.03英寸到约0.060英寸范围内的厚度；以及

约0.010英寸或更小的平整度。

2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述热传导率是约180W/m-K或更大。

3.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述厚度是从约0.035英寸到约0.050英寸的范围内。

4.根据权利要求3所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述厚度是约0.040英寸。

5.根据权利要求4所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述平整度是约0.006英寸或更小。

6.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述氮化铝陶瓷晶片还包括具有光洁度为约120微英寸或更小的底表面。

7.根据权利要求6所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述光洁度是约10微英寸或更小。

8.根据权利要求6所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述顶表面具有镜面光洁度。

9.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述氮化铝陶瓷晶片还包括铍、氧化铍或其衍生物。

10.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述氮化铝陶瓷晶片还包括铒、氧化铒或其衍生物。

11.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述氮化铝陶瓷晶片还包括钇、氧化钇、氧化铝或其衍生物。

12.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述氮化铝陶瓷晶片还包括含金属的金属氧化物，所述金属选自包括钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、钨及其合金、衍生物或组合的组。

13.一种氮化铝覆盖衬底，包括：

氮化铝陶瓷晶片，具有约160W/m-K或更大的热传导率；

圆形几何形状；

从约0.03英寸到约0.060英寸范围内的厚度；以及

约0.010英寸或更小的平整度。

14.根据权利要求13所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述热传导率是从约160W/m-K到约200W/m-K的范围内。

15.根据权利要求13所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述圆形几何形状包括从约11.2英寸到约12.8英寸的范围内的直径。

16.根据权利要求13所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述圆形几何形状包括从约7.2英寸到约8.8英寸的范围内的直径。

17.根据权利要求13所述的氮化铝陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述圆形几何形状包括从约5.2英寸到约6.8英寸的范围内的直径。

18.一种氧化铍陶瓷覆盖衬底，包括：

氧化铍陶瓷晶片，具有约200W/m-K或更大的热传导率；

从约0.030英寸到约0.060英寸的范围内的厚度；以及

约0.010英寸或更小的平整度。

19.根据权利要求18所述的氧化铍陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述热传导率是约250W/m-K或更大。

20.根据权利要求19所述的氧化铍陶瓷覆盖衬底，其特征在于，所述热传导率是约330W/m-K或更大。