[发明专利]含氟聚合物上的粘结层有效

专利信息
申请号: 200810134772.9 申请日: 2008-07-29
公开(公告)号: CN101357518A 公开(公告)日: 2009-02-04
发明(设计)人: 克里斯托弗·谢尔布托维耶;穆罕默德·本瓦迪赫;让-玛丽·韦里亚克 申请(专利权)人: 原子能委员会;索菲兰特公司
主分类号: B32B7/10 分类号: B32B7/10;B05D7/24;H01L51/00;H01L51/05;H05K3/46
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 蔡胜有;艾变开
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要:
搜索关键词: 聚合物 粘结
【说明书】:

技术领域

发明涉及包括含氟聚合物层的装置。

本发明建议,为了便于后续层的沉积,用被称为“粘结层”的附加层 覆盖所述层的至少一部分。

所述粘结层是用带有至少一个氟化官能团和至少一个酸或碱官能团 的聚合物制备的。

背景技术

目前,含氟聚合物普遍用于各种技术领域中。

因此,含氟聚合物用于电子元件如有机晶体管或电绝缘体的制造,以 及用于极端应用条件(温度或存在腐蚀性溶剂)下的机械部件的制造。

在有机电子学这一特定领域,含氟聚合物,特别是(聚全氟 丁烯基乙烯基醚的商品名)具有特别适于构成晶体管的格栅(grid)电介质 的性能。

但是,采用这种含氟聚合物引起如下问题,直到目前还没有解决:

-采用湿法时,无论采用何种沉积方法(旋涂或各种印刷方法), 都无法在先前沉积的含氟聚合物薄膜层上沉积其他层。

-无法将两种含氟聚合物部件粘结,或将塑料与含氟聚合物粘结。

这使得含有各种对于操作而言不可或缺的元件的复杂装置的制造 很难。例如一个完整的晶体管就属于这种情形,其中电介质的放置需要 后续的生产步骤。

因此,很明显需要开发便于和改善含氟聚合物基层上的沉积的技术方 案。

发明内容

本发明基于申请人发现特定的含氟聚合物易于与其他材料,特别是含 氟聚合物粘结。

必要地,这些具有粘性的特定的含氟聚合物带有至少一个酸或碱官能 团。

因此,根据第一方面,本发明涉及一种装置,特别是晶体管,所述装 置包括由含氟聚合物制得的层,所述层的表面的至少部分被至少含有聚合 物的组合物覆盖,所述聚合物包括至少一个氟化官能团和至少一个酸或碱 官能团。

根据本发明,所述至少含有聚合物的组合物在含氟聚合物上形成粘结 层,所述聚合物带有至少一个氟化官能团和至少一个酸或碱官能团。所述 粘结层自身部分或全部被由有意义的材料所制备的一个或多个其他层所 覆盖。

因此,根据定义,所述装置部分地由第一含氟聚合物组成。所述部分 被称为“层”,只要其具有意欲至少部分或全部被至少根据本发明的粘结 层所覆盖的外表面。

在本发明的上下文中,含氟聚合物是指其至少一种单体组分的每单体 中含有至少一个氟(F)原子的聚合物或共聚物。这种聚合物可以是交联 的或未交联的。

所述聚合物,例如,选自下列:

-:聚四氟乙烯(PTFE)的商品名(DuPont出售);

-:聚全氟丁烯基乙烯基醚的商品名(Ashai Glass出售);

-(Solvay Solexis出售);

-(Solvay Solexis出售);

-Parylene-F(例如Aldrich出售)。

注意,尽管所引用的这些聚合物对聚合物领域的技术人员而言是熟知 的,但是它们的准确化学式并不总是能够获得的。

有利地,选择该列表中的

通过阅读说明书的其他部分,很明显,该第一含氟聚合物不含任何酸 或碱官能团。

根据本发明,用于形成粘结层的第二含氟聚合物是如下定义的聚合物 或共聚物:

-其至少一种单体组分的每单体中含有至少一个氟(F)原子。由 于该原因,它因此为第二含氟聚合物;

-其至少一种单体组分含有酸或碱官能团。在本发明中,酸或碱官 能团被定义为或Lewis酸或碱。

满足上述定义的聚合物例如:

-(Dupont);

-(Solvay Solexis)

-(Ashai Glass)。

同样,此处引用的这些聚合物对聚合物领域的技术人员而言是熟知 的,但是它们的准确化学式也是不可获得的。

优选地,酸官能团由羧酸、膦酸、磺酸、砜或Si(CH3)3官能团提供。 碱官能团可为胺。

根据有利的实施方案,带有至少一个氟化官能团的单体与含氟聚合物 中存在的单体的类型相同。例如(第一含氟聚合物)/(第 二含氟聚合物)组就属于这种情况,二者都含有四氟乙烯单体。

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