[发明专利]含无机粉体的树脂组合物、图案形成方法及电极制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及含有无机粉体的树脂组合物、图案形成方法及平板显示装置用电极的制造方法。更详细而言，涉及在制造平板显示装置等显示板、电子部件的高度安装材料中使用的具有微细电路图案的电路基板的过程中，在形成精度高的图案时可以很好地使用的含有无机粉体的树脂组合物；使用该组合物的图案形成方法；以及通过该图案形成方法来制造平板显示装置用部件的方法。

背景技术

近年来，对于电路基板、显示板中的图案加工，高密度化和高精细化的要求逐渐提高。在这些要求逐渐提高的显示板中，等离子体显示板(以下也称为“PDP”)、场致发光显示装置(以下也称为“FED”)等平板显示装置(以下也称为“FPD”)尤为引人注目。

图1是显示交流型PDP的截面形状的示意图。在图1中，101和102是相互对峙地配置的玻璃基板，103是隔壁。被玻璃基板101、玻璃基板102、隔壁103划分形成单元(cell)。104是固定于玻璃基板101上的透明电极，105是出于降低透明电极104的电阻的目的而在该透明电极104上形成的总线电极，106是固定于玻璃基板102上的地址电极。107是单元内所保有的荧光物质，108是以被覆透明电极104和总线电极105的方式在玻璃基板101的内表面形成的电介质层，109是以被覆地址电极106的方式在玻璃基板102的内表面形成的电介质层，110是例如由氧化镁形成的保护膜。此外，在彩色PDP中，为了得到对比度高的图像，在玻璃基板和电介质层之间，有时设有彩色滤光器(红色、绿色、蓝色)、黑色基质等，或者为了提高发光亮度而设有前面隔壁。

作为FPD部件的电极的形成方法，已知有(1)在基板上，将非感光性树脂丝网印刷成为所需图案，并将其进行煅烧的丝网印刷法；(2)在基板上利用丝网印刷整面涂布感光性树脂层，并隔着绘有所需图案的光掩模，对上述感光性树脂层照射红外线或紫外线而显影，从而使所需图案残留在基板上，将其进行煅烧的照相平版印刷法等(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：特开平09-142878号公报

发明内容

采用上述(1)的丝网印刷法直接在玻璃基板上形成电极图案时，在具有图案的丝网掩模与基板之间设有数mm的间隙，由于采用刮板一边对丝网掩模施加张力一边进行印刷，因此版与实际的印刷图案产生尺寸差，而且随着印刷次数的增加，会产生版的尺寸发生变化的所谓版拉伸的问题，难以形成高精细的图案。

因此近年来，对可以形成高精细图案的(2)照相平版印刷法的需求逐渐增加。在该照相平版印刷法中，隔着曝光用掩模照射紫外线等，但在含有无机粉体的树脂组合物层中含有导电性粒子、玻璃粒子的情况下，有时在含有无机粉体的树脂组合物层中发生光散射，紫外线无法充分到达膜深处。其结果是，存在显影裕度(development margin)变窄，或图案截面成为倒锥形状，在其后的煅烧工序中图案的两端发生翘曲的问题。

此外，在使用丝网印刷的涂布方法中，在膜形成材料不具备触变性的情况下，存在浆料的脱版性变差，或者构成电极形成用浆料的无机粒子沉淀，长期保存时再分散困难而无法重复使用等问题。本发明基于上述情况而完成。

本发明的第一目的在于，提供作业性、保存稳定性优异、不会使显影性下降、可以很好地形成图案形状优异的电极的含有无机粉体的树脂组合物。

本发明的第二目的在于，提供作业性优异、可以形成图案形状优异的电极的FPD用电极的制造方法。

本发明进一步的目的通过下述说明而明确。

本发明人为解决上述课题进行了深入研究。结果发现，通过使用特定的含有玻璃粒子、碱可溶性树脂、含乙烯性不饱和基团的化合物、脂肪酸酰胺的含有无机粉体的树脂组合物，能够形成精度高的图案，从而完成了本发明。

即，本发明的含有无机粉体的树脂组合物的特征在于，至少含有(A)导电性粒子、(B)折射率为1.5～1.8、玻璃软化点为450℃～600℃的玻璃粒子、(C)玻璃化温度(Tg)为-50℃～50℃的粘结树脂、(D)固化后的玻璃化温度(Tg)为0℃～100℃的感光性物质、(E)光聚合引发剂和(F)脂肪酸酰胺。

此外，作为本发明的含有无机粉体的树脂组合物的优选方式，可以列举以下的方式：上述玻璃粒子含有30～70质量％的氧化硼；上述粘结树脂含有碱可溶性树脂；上述感光性物质是含有乙烯性不饱和基团的化合物。