[发明专利]超声波换能器及其制造方法、超声波诊断装置及超声波显微镜

权利要求书

1.一种超声波换能器，其特征在于，该超声波换能器包括 振子元件、第1导电层、第2导电层和驻极体，

上述振子元件具有第1电极、隔着空隙部配设于该第1电极 上的振动膜、支承在该振动膜上的第2电极，

上述第1导电层与上述第1电极电连接，

上述第2导电层与上述第1导电层相对配设，并与上述第2 电极电连接，

上述驻极体配设在上述第1导电层与上述第2导电层之间， 且在从利用上述振动膜振动而产生的超声波的发送方向看时， 该驻极体配设在与上述振子元件不重叠的区域，该驻极体保持 电荷，对上述第1电极与上述第2电极之间赋予规定的电位差，

上述驻极体直接接触于上述第1导电层和上述第2导电层 中的至少一方，或者上述驻极体夹着绝缘层接触于上述第1导 电层和上述第2导电层中的至少一方。

2.根据权利要求1所述的超声波换能器，其特征在于，

上述驻极体具有相对于上述第1导电层和上述第2导电层 中的至少一方在上述超声波发送方向露出的区域。

3.根据权利要求2所述的超声波换能器，其特征在于，

上述第2导电层配设于上述第1导电层上方，

在从上述超声波的发送方向看时，在上述第2导电层的与 上述驻极体重叠的区域内形成有贯通孔。

4.根据权利要求2所述的超声波换能器，其特征在于，

上述第1导电层和上述第2导电层被配设成：在与上述第1 电极和上述第2电极相对的方向正交的方向上相对。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的超声波换能器，其特 征在于，

由上述绝缘层隔开的上述第1导电层与上述第2导电层之 间的间隔大于上述振子元件中的由上述空隙部隔开的上述第1 电极与上述第2电极之间的间隔。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的超声波换能器，其特 征在于，

具有覆盖上述超声波发送方向一侧表面的保护膜，该保护 膜的与上述驻极体重叠的区域比上述保护膜的与上述振子元件 重叠的区域更向上述超声波发送方向突出。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的超声波换能器，其特 征在于，

具有覆盖上述超声波发送方向一侧表面的保护膜，该保护 膜的上述超声波发送方向一侧表面是平面状。

8.根据权利要求1所述的超声波换能器，其特征在于，

上述驻极体贴附于上述第1导电层上。

9.根据权利要求8所述的超声波换能器，其特征在于，

具有分别与多个振子元件对应设置的多个第1导电层，

单一的上述驻极体贴附于该多个第1导电层上。

10.根据权利要求8或9所述的超声波换能器，其特征在 于，

在上述驻极体与上述第2导电层之间夹设有空隙部。

11.一种超声波换能器，其特征在于，该超声波换能器包 括振子元件、第1导电层、第2导电层和驻极体，

上述振子元件具有第1电极、隔着空隙部配设于该第1电极 上的振动膜、支承在该振动膜上的第2电极，

上述第1导电层与上述第1电极电连接，

上述第2导电层的电位与上述第2电极的电位相同，

上述驻极体配设在上述第1导电层与上述第2导电层之间， 且在从利用上述振动膜振动而产生的超声波的发送方向看时， 该驻极体配设在与上述振子元件不重叠的区域，该驻极体保持 电荷，对上述第1电极与上述第2电极之间赋予规定的电位差，

上述驻极体配设在上述第2导电层的上方，

上述第1导电层配设在上述驻极体的上方，且在从上述超 声波的发送方向看时，在上述第1导电层的与上述驻极体重叠 的区域内形成有贯通孔，

上述驻极体与上述第2导电层接触，上述驻极体与上述第1 导电层之间夹设有绝缘层。