[发明专利]液滴喷出方法、及液滴喷出装置

权利要求书

1.一种液滴喷出方法，其特征在于，包括：

描绘喷出工序，其从液滴喷出头喷出液状体，并且，通过使作为所述 液状体着附的对象的基材和所述液滴喷出头相对移动，在所述基材上配置 所述液状体；

材料供给去除工序，其用于对具备所述液滴喷出头的液滴喷出装置供 给去除所述基材；

重量测定工序，其包括所述液滴喷出头实施重量测定喷出的重量测定 喷出工序，所述重量测定喷出用于进行从该液滴喷出头喷出的所述液状体 的重量测定，所述重量测定工序测定重量测定喷出的所述液状体的重量，

在实施所述材料供给去除工序的期间，并行地实施所述重量测定喷出 工序。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征在于，

还包括：丢弃喷出工序，其使所述液滴喷出头实施用于抑制所述液滴 喷出头的干燥的丢弃喷出；

喷出检查工序，其包括检查喷出工序和状态信息获得工序，并检查所 述液滴喷出头的喷出状态，所述检查喷出工序使所述液滴喷出头实施用于 检查所述液滴喷出头的喷出状态的检查喷出，所述状态信息获得工序获得 检查喷出而着附的液状体的状态的信息，

在实施所述材料供给去除工序的期间，实施所述丢弃喷出工序及所述 检查喷出工序。

3.根据权利要求2所述的液滴喷出方法，其特征在于，

在具有多个所述液滴喷出头的组中所包含的一台所述液滴喷出头实 施所述重量测定喷出，该组中的除进行所述重量测定喷出的所述一台液滴 喷出头以外的其他液滴喷出头实施所述丢弃喷出，且所述丢弃喷出与所述 组中的所述一台所述液滴喷出头进行的所述重量测定喷出并行实施。

4.根据权利要求2或3所述的液滴喷出方法，其特征在于，

将所述状态信息获得工序、和所述重量测定喷出工序以相互错开实施 各自的工序的时刻的方式进行实施。

5.根据权利要求2或3所述的液滴喷出方法，其特征在于，

与所述状态信息获得工序平行地实施所述重量测定喷出工序。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的液滴喷出方法，其特征在于，

在所述重量测定工序中测定的所述液状体的重量的测定值的相对于 基准值的差异超过规定值的情况下，实施确认检查。

7.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述确认检查为所述重量测定工序。

8.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述确认检查为所述喷出检查工序。

9.根据权利要求1～3中任一项所述的液滴喷出方法，其特征在于，

在所述重量测定工序中测定的所述液状体的重量的测定值的相对于 基准值的差异超过第一值即喷出重量的容许误差且在第二值即能够通过 喷出条件改变的喷出重量的可变量以下的情况下，实施所述液滴喷出头中 的喷出条件的修正。

10.根据权利要求9所述的液滴喷出方法，其特征在于，

所述液滴喷出头的驱动源为压电元件，所述喷出条件之一是向所述液 滴喷出头施加的驱动电压，所述修正包括驱动电压值的修正或驱动电压波 形的修正。

11.根据权利要求1～3中任一项所述的液滴喷出方法，其特征在于，

在实施一次所述材料供给去除工序的期间，实施利用一台所述液滴喷 出头进行的所述重量测定喷出工序。

12.根据权利要求11所述的液滴喷出方法，其特征在于，

规定包含多个所述液滴喷出头的头组，

所述液滴喷出方法包括：头组重量测定工序，其使在所述头组中包含 的所有的所述液滴喷出头分别依次实施一次所述重量测定喷出工序，并实 施各个所述液滴喷出头喷出的所述液状体的重量测定；

重量测定中止工序，其在不并行实施所述重量测定喷出工序的情况 下，实施规定的次数的所述材料供给去除工序。