[发明专利]模具无效
| 申请号: | 200810130518.1 | 申请日: | 2006-11-02 |
| 公开(公告)号: | CN101320203A | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
| 发明(设计)人: | 张在爀;洪雯杓;卢南锡 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
| 主分类号: | G03F1/14 | 分类号: | G03F1/14;H01L21/77;H01L21/768;H01L21/84 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 模具 | ||
1.一种模具,包括:
支撑层;
形成在该支撑层的第一表面上并具有至少一个凸起的图案形成层;以及
形成在该支撑层的第二表面上并位于与该凸起相对应的区域内的遮光膜。
2.根据权利要求1的模具,其中该支撑层包含聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚碳酸酯的至少一种。
3.根据权利要求1的模具,其中该图案形成层和该支撑层的每一个由透过紫外光的透明材料制成,并且该遮光膜由遮挡紫外光的材料制成。
4.根据权利要求1的模具,还包括设置在该支撑层和该遮光膜之间的缓冲层。
5.根据权利要求1的模具,还包括覆盖该遮光膜的缓冲层。
6.根据权利要求4或5的模具,其中该缓冲层由与该图案形成层相同的材料制成。
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