[发明专利]静电吸引型流体排出装置和静电吸引型流体排出方法以及使用该装置的描绘图案形成方法

权利要求书

1.一种静电吸引型流体排出装置，利用静电吸引使因施加电压而带电的排出流体从流体排出头的喷嘴的流体喷孔射中衬底，从而在该衬底表面形成排出流体的描绘图案，其特征在于，

所述喷嘴的流体喷孔，其喷孔直径为0.01～25μm，同时所述衬底是绝缘衬底，并且具有

按与希望的图案制作数据对应地形成的规定的图案，对该绝缘衬底的表面授给电荷的电荷授给单元。

2.如权利要求1中所述的静电吸引型流体排出装置，其特征在于，

所述电荷授给单元对由感光材料组成的绝缘衬底授给电荷，并且具有使所述绝缘衬底的表面均匀带电的均匀带电单元、以及

按规定图案对均匀带电的所述绝缘衬底的表面进行激光照射，并且进行激光照射部位的除电的除电单元。

3.一种静电吸引型流体排出装置，利用静电吸引使因施加电压而带电的排出流体从流体排出头的喷嘴的流体喷孔，射中衬底，从而在该衬底表面形成排出流体的与希望的图案制作数据对应地形成的描绘图案，其特征在于，

所述喷嘴的流体喷孔，其喷孔直径为0.01～25μm，同时所述衬底是绝缘衬底，并具有可配置成接触将导电材料制成图案的该绝缘衬底且在流体排出时对该绝缘衬底上的导电部施加电压的电压施加单元。

4.一种描绘图案形成方法，其中静电吸引型流体排出装置利用静电吸引使因施加电压而带电的排出流体从流体排出头的喷嘴的流体喷孔射中衬底，从而在该衬底表面形成排出流体的与希望的图案制作数据对应地形成的描绘图案，其特征在于，

所述喷嘴的流体喷孔，其喷孔直径为0.01～25μm，同时所述衬底是绝缘衬底，并且

在排出流体排出前，预先对该绝缘衬底在应形成描绘图案的部位授给极性与使排出流体带电用的驱动电压极性相反的电荷，从而形成电荷图案；

通过在所述电荷图案上进行流体排出，形成排出流体的描绘图案。

5.一种描绘图案形成方法，是利用静电吸引型流体排出装置的描绘图案形成方法，该静电吸引型流体排出装置利用静电吸引，使因施加电压而带电的排出流体从流体排出头的喷嘴的流体喷孔射中衬底，从而在该衬底表面形成排出流体的与希望的图案制作数据对应地形成的描绘图案，其特征在于，

所述喷嘴的流体喷孔，其喷孔直径为0.01～25μm，同时所述衬底是绝缘衬底，并且

在排出流体排出前，预先对该绝缘衬底在应形成描绘图案的部位周边授给极性与使排出流体带电用的驱动电压极性相同的电荷，从而形成电荷图案；

通过在所述电荷图案包围的描绘图案形成区上进行流体排出，形成排出流体的描绘图案。

6.如权利要求5中所述的描绘图案形成方法，其特征在于，

使用由感光材料组成的绝缘衬底；

使所述绝缘衬底的表面均匀带电后，对均匀带电的绝缘衬底的表面按规定图案进行激光照射，并且进行激光照射部位的除电，从而形成所述电荷图案。

7.一种描绘图案形成方法，是利用静电吸引型流体排出装置的描绘图案形成方法，该静电吸引型流体排出装置利用静电吸引，使因施加电压而带电的排出流体从流体排出头的喷嘴的流体喷孔射中衬底，从而在该衬底表面形成排出流体的与希望的图案制作数据对应地形成的描绘图案，其特征在于，

所述喷嘴的流体喷孔，其喷孔直径为0.01～25μm，同时所述衬底是绝缘衬底，并且

在排出流体排出前，预先对该绝缘衬底在不形成描绘图案的非描绘区授给极性与使排出流体带电用的驱动电压极性相同的电荷，从而形成电荷图案；

形成描绘图案，即使在所述非描绘区上也不停止对所述流体排出施加电压。

8.一种描绘图案形成方法，是利用静电吸引型流体排出装置的描绘图案形成方法，该静电吸引型流体排出装置利用静电吸引，使因施加电压而带电的排出流体从流体排出头的喷嘴的流体喷孔射中衬底，从而在该衬底表面形成排出流体的与希望的图案制作数据对应地形成的描绘图案，其特征在于，

所述喷嘴的流体喷孔，其喷孔直径为0.01～25μm，同时所述衬底是绝缘衬底，并且

在已形成该绝缘衬底的导电材料的第1描绘图案的状态下，从第1描绘图案上进一步形成第2描绘图案时，一面对形成第1描绘图案的导电部施加电压，一面形成第2描绘图案。