[发明专利]用于在衬底上固化沉积层的系统和方法

权利要求书

1.固化系统，包括：

用于支撑有材料沉积其上的衬底的具有平面表面的支撑物；

含有能向材料沉积层的至少一部分上发射光束的激光器的固化设 备；和

与所述固化设备电通信连接的控制系统。

2.权利要求1的系统，其中支撑物和/或固化设备可以在XY平面 内移动。

3.权利要求1的系统，还包括与控制系统电通信连接的X-Y光束 偏转器，所述X-Y光束偏转器能使光束相对支撑物偏转。

4.权利要求3的系统，还包括与支撑物相连的移动设备，所述移 动设备能在XY平面内移动支撑物，其中光束与支撑物间的相对移动通 过X-Y光束偏转器结合支撑物的平面表面的移动来实现。

5.权利要求1的系统，其中固化设备包括两个或两个以上发射基 本平行且光程大致相同的光束的激光器。

6.权利要求1的系统，其中从激光器发射出来的光束形成了两个 或两个以上的光束，用于在沉积层上产生两个或两个以上照射区域。

7.权利要求1的系统，其中由激光器发射的光束具有波长和强度， 光束的波长和强度的选择使光束诱导沉积材料中的化学反应。

8.权利要求1的系统，其中沉积层包括一种或多种化学添加剂， 并且其中由激光器发射的光束具有波长和强度，光束的波长和强度的 选择使光束诱导有关化学添加剂的化学反应。

9.权利要求1的系统，其中光束以两个或两个以上可控波长和/ 或强度的脉冲的方式施加，以增强固化速度和/或质量。

10.权利要求1的系统，还包括至少一个用于固化期间查看沉积 层，以完成以下的一个或多个任务的光传感器：1)识别电路类型；2) 识别层的材料；和/或3)为改善固化性能和/或质量，向控制系统提供 反馈。

11.权利要求1的系统，其中固化设备还包括调节从激光器发射 出来的光束的聚焦的透镜模组和/或调制从激光器发射出来的光束的强 度的调制器。

12.权利要求1的系统，其中材料沉积层是印刷电子装置的印刷 层。

13.在制造包括多个沉积在衬底上的层的印刷电子装置的过程 中，固化至少一个沉积层的方法，包括以下步骤：

从激光器发射光束，并用发射的光束照射沉积层；和

将光束移动到沉积层的所选部分上。

14.权利要求13的方法，其中移动光束包括以下步骤中的一个： 1)相对激光器移动衬底；2)相对衬底移动激光器；和3)使光束偏转。

15.权利要求13的方法，还包括使从激光器发射出来的光束聚焦 和/或散焦，用于照射沉积层的所选部分的步骤。

16.权利要求13的方法，还包括调制光束强度的步骤。

17.权利要求13的方法，其中沉积层的所选部分经受不同水平的 固化。

18.制造印刷电子装置的方法，包括以下步骤：

(a)用具有平面表面的支撑物支撑衬底；

(b)通过印刷设备将一种或多种材料以所选模式沉积到衬底上， 从而形成多个印刷层；以及

(c)对各印刷层的至少一部分进行激光固化。