[发明专利]反力处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种反力处理装置，用于提高移动载物台装置中的载物台的稳定性。

背景技术

目前，例如采用移动载物台装置作为半导体或液晶的曝光装置或检查装置，该移动载物台装置的载物台在经由除振部设置在基座上的定盘上移动。该移动载物台装置中，例如为了提高每单位时间的处理量，要求载物台高调速化。但是，当使载物台高调速化时，由于载物台的移动而在定盘上产生的反力增大，存在载物台的稳定性恶化的危险。

因此，近年来，设置在移动载物台装置上的用于处理由于载物台的移动而在定盘上产生的反力的反力处理装置被开发出来(例如，参照日本特开平11-329962号公报)。在这样的反力处理装置中，通过施加装置向定盘施加降低反力的力。

但是，在上述那样的反力处理装置中，为了消除由于反力的影响而作用在定盘上的转矩，在高度方向上并列设置的多个施加装置以协同工作的方式被设置。因此，移动载物台装置成为大型的装置，移动载物台装置存在大型化的危险。

并且，为了使定盘上不产生转矩，考虑以反力的作用点的高度和降低反力的力的作用点的高度相互一致的方式设置施加装置。但是，在该情况下，为了确保设置反力处理装置的空间而使移动载物台装置的设置面积变大，移动载物台装置存在大型化的危险。

发明内容

因此，本发明的课题是提供一种反力处理装置，能够提高移动载物台装置的载物台的稳定性，并且能够抑制移动载物台装置的大型化。

为了解决上述课题，本发明的发明者们进行多次研究后发现，如果能够切实地降低并消除作用在定盘上的力，即使不完全消除作用在定盘上的转矩，也能够提高载物台的稳定性。即，发现以下事实：如果在降低并消除作用在定盘上的力的同时，使作用在定盘上的转矩足够小的话，能够充分地提高载物台的稳定性。本发明为基于这样的发现的装置。

即，本发明的反力处理装置，用于处理由于载物台的移动而在定盘上产生的反力，并设置在移动载物台装置上，该移动载物台装置的载物台在经由除振部被设置于基座上的定盘上移动，其特征在于：具有用于将降低反力的力施加到定盘上的施加装置，施加装置以被定盘覆盖的方式被设置在相比该定盘的盘面偏基座侧的位置上。

在该反力处理装置中，通过施加装置将降低反力的力施加到定盘上。由此，该施加的力和反力相互抵消，作用在定盘上的力被消除。这里，由于施加装置以被定盘覆盖的方式被设置在相比该定盘的盘面偏基座侧的位置，因此反力的作用点和降低反力的力的作用点的高度不一致，所以虽然不能够完全消除作用在定盘上的转矩，但在作用在定盘上的转矩足够小的情况(例如，反力的作用点和降低反力的力的作用点的高度的差为规定距离以下的情况)下，能够完满地实现载物台的稳定性的提高。

另外，如上所述，由于施加装置以被定盘覆盖的方式被设置在相比该定盘的盘面偏基座侧的位置上，所以能够在确保足够的定盘的盘面空间的同时，不需要增加移动载物台装置的设置面积(即足迹(footprint))。即，能够有效地利用移动载物台装置的空间，能够抑制移动载物台装置的大型化。因此，根据本发明，能够在提高移动载物台装置的载物台稳定性的同时，抑制移动载物台装置的大型化。

并且，优选反力作用在定盘上的作用点的高度与降低反力的力作用在定盘上的作用点的高度的差h为下式表示的允许值h_max以下，

h_max＝(Y_max·J·K_p)/(N·M_SLIDER·f_r)其中，Y_max：载物台的位置偏差的允许值

J：移动载物台装置的惯性转矩

K_p：控制增益

N：从移动载物台装置的重心高度到载物台的位置测量点的高度的距离

M_SLIDER：载物台的质量

f_r：反力。

由此，在载物台所允许的位置偏差作为规格被预先决定的情况下，基于该规格能够设定允许值h_max，而且，通过使该差h为允许值h_max以下，能够切实地实现上述效果，即提高移动载物台装置的载物台稳定性，并且抑制移动载物台的大型化的效果。另外，载物台的位置偏差意味着载物台位置的偏移量，控制增益意味着用于使载物台靠近目标位置的控制值。