[发明专利]磁传感器及补偿磁传感器的温度相关特性的方法无效
| 申请号: | 200810129027.5 | 申请日: | 2002-11-29 |
| 公开(公告)号: | CN101308198A | 公开(公告)日: | 2008-11-19 |
| 发明(设计)人: | 佐藤秀树 | 申请(专利权)人: | 雅马哈株式会社 |
| 主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;H01L27/22;H01L23/522 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 葛青 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 传感器 补偿 温度 相关 特性 方法 | ||
1.一种磁传感器,其包括单个衬底,多个磁阻元件,使所述多个磁阻 元件相互桥连接的布线部分以及控制电路部分,所述控制电路部分用于经由 所述布线部分获取根据所述多个磁阻元件的电阻值而确定的物理量,并且对 该物理量进行处理从而产生向外输出的输出信号,其中
所述磁传感器还包括多个叠置在所述衬底上的层;所述磁阻元件形成在 所述多个层中的一个层的上表面上;所述布线部分和所述控制电路部分形成 在所述衬底以及所述多个层中;并且所述磁阻元件、所述布线部分、以及所 述控制电路部分都通过连接部分而在所述多个层中相互连接,所述连接部分 由导电物质构成并且沿着与所述层的层表面相交的方向延伸。
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