[发明专利]具有形成图案的包层的平面波导及其生产方法

权利要求书

1. 一种用于生产集成光波导的方法，其中，上述集成光波导具有形成 图案的上包层，该方法包括以下步骤：

a)在衬底上沉积芯层；

b)使所述芯层形成图案以提供光传输元件，其中，所述光传输元件包 含具有弯曲的波导；

c)在所述光传输元件上沉积上包层，其中，所述上包层包含聚合物材 料；

d)使所述上包层形成图案以提供至少一个区域，且在上述区域中所述 光传输元件是空气包层的；且其中，所述波导在所述弯曲的区域内具有空 气包层的表面。

2. 如权利要求1所述的方法，该方法还包括以下步骤：

e)在将所述芯层沉积到所述衬底上之前，在所述衬底上沉积下包层。

3. 如权利要求1所述的方法，其中，所述光传输元件在至少一侧上是 空气包层的。

4. 如权利要求3所述的方法，其中，所述波导在所述弯曲的外侧的对 应侧上具有空气包层的表面。

5. 如权利要求1所述的方法，其中，部分所述上包层与部分所述光传 输元件相匹配。

6. 如权利要求1所述的方法，其中，所述光传输元件的顶部是空气包 层的。

7. 如权利要求1所述的方法，其中，所述聚合物材料包含可被热固化 的聚合物。

8. 如权利要求7所述的方法，其中，所述可被热固化的聚合物为硅氧 烷聚合物。

9. 如权利要求1所述的方法，其中，所述聚合物材料包含可被光化辐 射固化的聚合物。

10. 如权利要求9所述的方法，其中，所述光化辐射为紫外光。

11. 如权利要求9所述的方法，其中，所述聚合物材料为硅氧烷聚合 物。

12. 如权利要求1所述的方法，其中，通过利用形成图案的热源进行 选择性固化并用溶剂溶解未固化的材料来使所述上包层形成图案，且其中 被固化了的材料不溶于所述溶剂。

13. 如权利要求1所述的方法，其中，通过利用形成图案的紫外光源 进行选择性固化并用溶剂溶解未固化的材料来使所述上包层形成图案，且 其中被固化了的材料不溶于所述溶剂。

14. 一种具有形成图案的上包层的集成光波导，其包含：

衬底；

光传输元件，所述光传输元件包含具有弯曲的波导；以及

上包层，所述上包层形成图案以提供至少一个区域，且在上述区域中 所述光传输元件是空气包层的，且其中，所述上包层包含聚合物材料；且 其中，所述波导在所述弯曲的区域内具有空气包层的表面。

15. 如权利要求14所述的集成光波导，其还包含下包层，该下包层在 所述衬底与所述光传输元件之间。

16. 如权利要求14所述的集成光波导，其中，所述光传输元件在至少 一侧上是空气包层的。

17. 如权利要求16所述的集成光波导，其中，所述波导在所述弯曲的 外侧的对应侧上具有空气包层的表面。

18. 如权利要求14所述的集成光波导，其中，部分所述上包层与部分 所述光传输元件相匹配。

19. 如权利要求14所述的集成光波导，其中，所述光传输元件的顶部 是空气包层的。

20. 如权利要求14所述的集成光波导，其中，所述聚合物材料包含可 被热固化的聚合物。

21. 如权利要求20所述的集成光波导，其中，所述可被热固化的聚合 物为硅氧烷聚合物。

22. 如权利要求14所述的集成光波导，其中，所述聚合物材料包含可 被光化辐射固化的聚合物。

23. 如权利要求22所述的集成光波导，其中，所述光化辐射为紫外光。