[发明专利]检测空气中的金属浓度的装置和方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求2007年2月12日申请的韩国专利申请第10-2007-14462号的优先权，其公开的全部内容参照于此。

技术领域

本发明涉及一种金属浓度的检测装置。具体而言，本发明涉及一种用于检测空气中的金属浓度的装置和方法。

背景技术

近年来随着半导体设备图案的极端缩小，非常适合在容纳有多个半导体处理设备的无尘室中保持最低的污染度。包含在无尘室中的诸如铜的金属污染物会造成半导体设备产品的严重老化。这种无尘室中的金属污染物会在半导体片上沉积金属膜时产生。

尽管具有用于测量无尘室中的非金属污染物的浓度几种方法，但是检测金属污染物的方法很有限。

发明内容

本发明指向用于检测包含在诸如无尘室的空间中的空气中的金属污染物浓度的装置和方法。

本发明的实施例包括用于检测区域中的金属浓度的方法，该方法包括将来自该区域的空气暴露在一种溶剂中，以允许金属在该溶剂中溶解；光照射在金属已经溶解在其中的溶液的液态混合物(a)上，该溶液与一种与金属化学结合的试剂(b)相结合；以及通过测量液态混合物的吸收率来检测金属的浓度。在一个特定实施例中，通过：将来自该空间的空气提供给溶剂，并将金属溶解在该溶剂中；在金属已经溶解在其中的溶液的液态混合物上照射光，并在一种与金属化学结合的试剂上照射光；以及参考该液态混合物的吸收率检测金属浓度。

本发明的实施例还提供一种用于检测空气金属浓度的方法，包括混合溶液，其中大气金属被溶解在溶剂中，用一种与包含在溶液中的金属离子化学结合的试剂；通过比较溶剂和试剂的液态混合物的吸收率与试剂和溶液的液态混合物的吸收率的差异检测金属的浓度。特别地，检测大气金属的浓度可能包括混合一种溶液，其中大气金属被溶剂溶解，用一种与包含在溶液中的金属离子化学结合的试剂；参考溶剂和试剂的液态混合物的吸收率与试剂和溶液的液态混合物的吸收率的差异检测金属的浓度。

本发明的实施例进一步包括一种用于检测区域中的金属浓度的装置，包括：第一容器，其中该区域中的金属被溶剂溶解；第二容器，其能够容纳与金属化学结合的试剂；第一单元，其能够(a)接收来自第一容器的溶液和容纳在第二容器中的试剂，其中金属被溶解在该溶液中，(b)使该溶液和该试剂结合；以及第二单元，其能够在由第一单元提供的液态混合物上照射光，并进一步能够通过测量液态混合物的吸收率来检测金属的浓度。例如，一种用于检测空间中的金属浓度的装置可能包括气态溶液容器，其中该空间的金属被溶剂溶解；试剂容器，其容纳一种与金属化学结合的试剂；混合单元，其接收来自气态溶液容器的其中溶解有金属的溶液，和来自试剂容器的试剂，并混合该溶液和该试剂；以及测量单元，其在由混合单元制成的液体混合物上照射光，并通过测量该液态混合物的吸收率检测金属的浓度。

本发明的特征和优势的进一步理解在此可以通过参考说明书的其余部分和附图来实现。

附图说明

将参照以下的视图说明本发明的非限制和非详尽的实施例，其中，除非另外所指，各个视图中相同的附图标记表示相同的部分。

图1是说明根据本发明的实施例的金属浓度检测装置的结构的示意图；

图2是说明图1中所示的测量单元的结构的示意图；

图3是比较地示出无铜脱离子水和螯合物的混合物的吸收率，以及含铜脱离子水和螯合物的混合物的吸收率的图表；

图4是示出含铜脱离子水和螯合物的混合物的吸收率相对于铜的浓度的变化的图表；以及

图5是示出根据本发明的实施例检测金属浓度的步骤顺序的流程图。

具体实施方式

以下将参照附图更完整地说明本发明，其中示出了本发明的实施例。然而，本发明可以以很多不同的形式来体现，而不应被解释为限制这里公开的实施例。相反地，提供这些实施例使得本公开彻底和完整，并且向本领域技术人员完整地表达本发明的范围。在附图中，为了清楚起见，层和区域的尺寸和相对尺寸被放大。

可以理解的是，当一个元件或层被称为“在...上”、“连接到”或“连结到”另一元件或层时，它可能是直接在其上，连接到或连结到另一元件或层，或者可能存在中间元件或层。相反地，当一个元件被称为“直接在...上”、“直接连接到”或“直接连结到”另一元件或层，就不存在中间元件或层。相同的标记始终表示相同的元件。如在此使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关的列出的项目的任何和所有组合。