[发明专利]用于检测微量污染气体吸附性滤材的样品置放装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于检测微量污染气体吸附性滤材的样品置放装置，尤其适用于ppm至ppb等级，的微量气体污染检测范围。

背景技术

目前除去空间中的气态污染物方式，一般分为湿式与干式两种。所谓湿式滤除装置，如洗涤槽式；是将空间中受污染物气体，导入洗涤槽中，以水洗方式将其中的污染物予以滤除；达到气体净化效果。而干式滤除装置，是利用对目标污染气态分子具有吸附或触媒反应效果的材质，进行物理或化学吸附；达到气体净化效果。而空间中微量污染气体的产生，一般为产品制造过程中产生或外气空调箱气体引入。而空间中气体污染浓度过高，除影响人体健康外，对部份产业的生产工艺亦会产生影响，尤其在纳米工艺中影响更巨。

目前干式吸附装置，如化学滤网或其它类似产品，应用于半导体厂最多。该型滤网以外框结构体，内部填充可对目标气体吸附或反应的滤材介质，如活性碳材质。此类多孔性滤材，以外观来说，大致可分为颗粒状与平板状两大类。滤网制造厂商，将滤网外部结构体制造完成后，再填入适当的颗粒或平板滤材介质，便完成化学滤网或活性碳滤网的制造；产品的性能则委托专门机构进行性能检测。

一般化学滤网开发时所需的滤材性能数据，可分为下列几项：(1)材质滤除性能部份，包括：滤材压损、初始效率、吸附容量、滤材释气分析等；(2)结构方面则包括：气体浓度、滤材数量(厚)、面风速与温湿度条件。将两者整合后，方能设计出有效的化学滤网产品。

而上述的全尺寸性能验证，对厂商而言，开发成本相当高。而目前市面上亦无标准化的仪器设备，供滤除材质的检验，因此市场上的滤网价格高居不下。如能将滤材的性能验证方法标准化与仪器化，让滤材性能验证作业，在产品开发前进行检测与筛选，对产品的开发成本有绝对的经济效益。

缘此，本的发明提供一种用于检测微量污染气体吸附性滤材的样品置放装置，其可对于滤材结构体进行系统化的性能验证。

发明内容

本发明的主要目的为提供一种用于微污染气体吸附材料检测的滤材样品置放装置，其利用实际气体流场进行滤材的动态检测，以达到节省开发时间与成本的目的。

为达到上述目的，本发明提供一种用于检测微量污染气体吸附性滤材的样品置放装置，包含：一框架；一样品槽，安装于该框架上且可容置滤材；一第一流管，安装于该框架上且与该样品槽相连接；以及一第二流管，安装于该框架上且与该样品槽相连接；其中，气体依序流经该第一流管、该样品槽以及该第二流管。

本发明的技术效果在于：用于检测微量污染气体吸附性滤材的样品置放装置可提供待测滤材对于特定气体吸附功效的必要性能数据(温度、露点、压力及浓度等)，可节省其开发时间与成本。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为本发明用于检测微量污染气体吸附性滤材的样品置放装置的立体图；

图2为本发明样品槽、第一流管与第二流管连接时的立体图；

图3为本发明样品槽、第一流管与第二流管连接时的立体剖面图；

图4为本发明使用样品槽的立体剖面图；

图5为本发明使用样品槽的立体剖面图，其显示一变化例；以及

图6为本发明使用样品槽的立体剖面图，其显示另一变化例。

其中，附图标记

1-滤材样品置放装置

10-框架

12-样品槽

14-第一流管(前流道部)

16-第二流管(气体流管)

102-第一驱动部(上气压缸)

104-第二驱动部(下气压缸)

106-线性移动单元

120-滤网

122-滤网

124-中空盘片

126-片状滤材

128-锥形片状体

142-前导流部

144-整流部

146-前流道部

1062-第一定位单元

1064-第二定位单元

1200-孔洞

1220-孔洞

1400-气体入口

1402-温度采样口

1404-露点采样口

1440-整流片

1460-压差计采样口

1462-前测采样口

1600-气体出口

1602-温度采样口

1604-露点采样口

1606-压差计采样口

1608-后测采样口

A-吸附区

F-第一开口

B-第二开口