[发明专利]荫罩式等离子体显示板前板金属电极的制作方法

权利要求书

1、一种荫罩式等离子体显示板前板金属电极的制作方法，其特征在于它包括以下步骤：

a、清洁玻璃基板(1)；

b、在玻璃基板(1)上涂覆黑色玻璃浆料(2)，并在100～130℃温度下烘干，烘干时间为15～30min；

c、在黑色浆料(2)的表面涂覆白色光敏银浆(3)并烘干，烘干温度为100-130℃，时间15-30min；

d、曝光：用带线条的掩膜板(4)平铺在白色光敏银浆(3)层表面，再用紫外光(5)垂直照射掩膜板(4)和白色光敏银浆(3)层形成固化的浆料(6)和未固化的浆料(7)，固化的浆料由紫外光(5)照射形成，未固化的浆料(7)未照射到紫外光(5)的部分组成；

e、显影：用显影液(8)喷淋在用紫外光(5)照射过的基板上以去除未固化的浆料(7)，剩下的固化浆料(6)即形成前板金属电极(9)；

f、烧结：通过低温烧结使前板金属电极(9)牢固的附着在玻璃基板(1)上。

2、根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于玻璃基板(1)为采用浮法工艺生产的普通钠钙玻璃。

3、根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于黑色浆料(2)是一种含有黑色颜料、具有光敏特性、不导电的玻璃浆料。

4、根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于黑色浆料(2)的印刷厚度为18～40μm。

5、根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于白色光敏银浆(3)的印刷厚度为15～24μm。

6、根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于低温烧结温度为530～570℃，并保温20～60min。

7、根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于前板金属电极(9)的烧成厚度为6～9μm，最终的电阻为0.8～1.5Ω/cm。