[发明专利]一种干涉仪光路系统有效
申请号: | 200810123021.7 | 申请日: | 2008-06-18 |
公开(公告)号: | CN101324521A | 公开(公告)日: | 2008-12-17 |
发明(设计)人: | 魏秀丽;陆亦怀;高闽光;陈军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45;G02B17/06 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 230031安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 干涉仪 系统 | ||
1.一种干涉仪光路系统,包括有光源、分束片、抛物镜、平面镜、探测器,其特征在于光源位于第一抛物镜(1)的焦平面中心,光源发出的光通过第一抛物镜(1)变为平行光射到干涉仪的分束片(2)上,干涉仪出射的平行光经过平面镜(3)反射到第二抛物镜(4),然后再经过第三抛物镜(5)和第四抛物镜(6)的反射到达探测器上;第一、第二、第三、第四抛物镜的抛物线方程是相同的,即有相同的焦点,第二抛物镜(4)与第三抛物镜(5)对称设置,它们间的距离正好是2倍的焦距,经过第二抛物镜(4)的光束会聚在第二抛物镜(4)和第三抛物镜(5)中间的位置,即位于第二抛物镜(4)、第三抛物镜(5)焦平面的中心,此中心就是测量样品放置位置,探测器(7)放在第四抛物镜(6)的焦平面上,第四抛物镜(6)接收到的平行光正好会聚到探测器(7)上。
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