[发明专利]多线切割机用工件夹具

说明书

【技术领域】

本发明属于多线切割硅单晶锭领域，尤其属于一种与多线切割机匹配使用，用于固定硅单晶锭，然后利用多线切割机将硅单晶锭切割成硅单晶片的工件夹具。

【背景技术】

多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它的原理是通过一根高速运动的钢线，带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工件台的上升下降实现工件的进给，可将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片，多线切割技术与其他技术相比，具有效率高，产能高，精度高且节材等优点，业已逐渐取代传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割，是目前采用最广泛的半导体等硬脆材料切割技术。

进行切割作业，一个与工件台联接、必不可少的附件就是固定待加工工件的工件夹具。该工件夹具的结构包括主连接座和副连接座，以及分别贴置固定在主连接座和副连接座上的主连接片和副连接片。作业前，先将两根待加工工件即硅单晶锭，连同主连接片和副连接片分别固定在主连接座和副连接座上，然后，再将携带工件的夹具对接在多线切割机的工件台上，由工件台完成上升下降、实现工件进给，利用线网进行切割。

现有工件夹具在固定工件时，存在如下问题：主导工件固定以后，从导工件按要求必须严格参照主导工件的位置为基准，固定从导工件，但是，这种工件夹具要调整好从导工件的位置非常麻烦，以至于费时费力还很难确保从导工件与主导工件的一致性，从而造成多线切割机所切割出的硅片厚薄不一致，合格率低，有时线网还会出现跳线、断线现象，影响多线切割机正常作业。

【发明内容】

为克服现有技术存在的上述缺陷，本发明旨在提供一种结构新型的多线切割机用工件夹具，该工件夹具在主导工件定位后，通过简单调整，就能使从导工件按照主导工件基准定位，确保主导工件和从导工件位置的一致性，从而消除硅片厚薄不一致，合格率低，以及线网跳线、断线现象。

为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

这种多线切割机用工件夹具，包括主连接座和副连接座、主连接片和副连接片，主连接座与主连接片经螺栓固定呈平面连接，副连接座和副连接片经定位螺栓固定呈平面连接，其特征是：副连接座用于接纳定位螺栓的定位螺栓孔形状呈异形。

如上所述的多线切割机用工件夹具，其特征是：副连接座和副连接片经定位螺栓固定呈平面连接，副连接座上用于接纳定位螺栓的定位螺栓孔形状为前后向长槽形。

如上所述的多线切割机用工件夹具，其特征是：副连接座和副连接片经定位螺栓固定呈平面连接，副连接座上用于接纳定位螺栓的定位螺栓孔形状为前后向椭圆形。

有益效果：与现有技术相比，本发明通过改变副连接座用于接纳定位螺栓的螺栓孔形状，当主导工件固定定位后，如果从导工件出现与主导工件位置不一致时，只要旋松定位螺栓，利用椭圆形孔微调副连接片的前后位置后，加以固定即可，克服了现有技术副连接座上用于接纳定位螺栓的螺栓孔形状为圆形，工件不能作前后(实际作业时为左右向)向调整的缺陷，因为，圆形螺栓孔作调整时，主导工件与从导工件只能作整体调整，而不能改变两者的相对位置来达到微调效果。

【附图说明】

图1为本发明一个实施例的立体结构示意图。

图中：导轨1，装卸槽2，紧固螺孔3，切割垫块4，切割垫块41，定位螺栓5，定位螺栓孔6，副连接座7，副连接片71，导向柱8，沙浆管9，工件10，工件101，主连接座11，主连接片12。

【具体实施方式】

参见图1。导轨1通过装卸槽2，由紧固螺栓经紧固螺孔3固定在多线切割机的工件台上。夹具以导轨1下方的沙浆管9为对称，两侧分别设置主连接座11、副连接座7。主连接片12和副连接片71分别由相应的定位螺栓5经定位螺栓孔6，贴置固定在主连接座11、副连接座7上(主连接片12和副连接片71上有相应的圆形螺栓孔)。

右侧的工件10称主导工件，工件101为从导工件。主连接片12、切割垫块41和工件10是通过粘胶粘接而成的整体件，副连接片71、切割垫块4和工件101也是通过粘胶粘接而成的整体件。本发明的创新之处在于：接纳定位螺栓5的定位螺栓孔6的形状呈异形，为非圆形，例如长条形、椭圆形，定位螺栓孔6的数量可根据实际情况而定，一般为6个。作业时，当主导工件定位后，调整从导工件位置只要旋松定位螺栓，即可微调连接在副连接座7上的整体件的前后位置，改进简单、方便实用。