[发明专利]一种高温云纹干涉变形测量系统

权利要求书

1.一种高温云纹干涉变形测量系统，含有图像采集系统(1)、激光器(2)、分光耦合器(3)、带有观测窗的高温炉(4)、六维调节架(5)和云纹干涉光路系统，所述的云纹干涉光路系统包括云纹干涉光学元件箱(6)、镜头(8)和光栅(44)；云纹干涉光学元件箱(6)放置在六维调节架(5)上，图像采集系统(1)、镜头(8)和光栅(44)位于同一直线上，光栅(44)粘贴在试件(7)表面，试件(7)放置在带有观测窗的高温炉(4)中，激光器(2)、分光耦合器(3)位于云纹干涉光路系统的同一侧，其特征在于：所述的云纹干涉光路系统采用焦距至少为100mm、直径至少为50mm的镜头(8)作为场镜，云纹干涉光路系统中采用的光栅为600线/mm的光栅；所述的激光器(2)为半导体绿光激光器，其波长为533nm。

2.按照权利要求1所述的高温云纹干涉变形测量系统，其特征在于：采用光开关作为分光耦合器(3)，将激光器(2)发出的激光分为两路，经由单模光纤和一分二光纤分路器(14)导入测量光路。

3.按照权利要求1所述的高温云纹干涉变形测量系统，其特征在于：所述的带有观测窗的高温炉(4)的观测窗口采用十字形分块双层石英玻璃构成，内侧玻璃的特征尺寸为l₁＝l₀+2t₁tan18.6°，外层玻璃的特征尺寸为l₂＝l₀+2t₂tan18.6°，其中l₀为试件(7)表面测量区域特征尺寸，t₁、t₂分别为试件(7)到内层玻璃和外层玻璃的距离。