[发明专利]一种管式炉及利用其改变生长基片或源材料位置的方法

权利要求书

1、一种管式炉，包括炉体，其特征在于，还包括：

耐高温管，包括两部分，一部分放置在炉体中，一部分露于炉体外；

样品台，放置在所述耐该高温管内，用于放置生长基片或源材料；

铁磁驱动元件，放置在所述耐该高温管内，通过连接杆与所述样品台连接，所述铁磁驱动元件放置于所述耐高温管露于炉体外的部分；

磁体，设置在所述耐高温管露于炉体外部分的外壁上，所述磁体沿所述耐高温管轴向方向移动，在磁力的作用下驱动所述铁磁驱动元件、连接杆和样品台移动。

2、如权利要求1所述的管式炉，其特征在于，所述样品台和连接杆由耐高温材料制成。

3、如权利要求2所述的管式炉，其特征在于，所述耐高温材料为熔融石英或三氧化二铝。

4、如权利要求1所述的管式炉，其特征在于，所述铁磁驱动元件由磁性材料或能够被磁化的材料制成。

5、如权利要求4所述的管式炉，其特征在于，所述铁磁驱动元件为轮状、块状或丝状。

6、如权利要求1所述的管式炉，其特征在于，所述磁体为永磁体或电磁铁。

7、如权利要求6所述的管式炉，其特征在于，所述永磁体为钐钴磁铁。

8、如权利要求7所述的管式炉，其特征在于，所述钐钴磁铁为圆柱形。

9、一种利用权利要求1的管式炉改变生长基片或源材料的位置的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将生长基片或源材料放置于样品台上，管式炉内反复抽真空后通氩气，除去炉内空气，然后停止通惰性气体，并抽真空；

加热管式炉中心至设定温度，通入惰性气体，并开始抽气，保持压力在设定压力值；

在所述设定温度下保温，保温后用磁体吸引铁磁驱动元件，调整所述生长基片或源材料在所述管式炉的位置，改变温区，继续保温；

最后用磁体吸引，将生长基片或源材料拉出至耐高温管露于炉体外的部分，降至室温，通惰性气体至常压，打开管式炉，取出生长基片或源材料。

10、如权利要求9所述的改变生长基片或源材料的位置的方法，其特征在于，在将生长基片或源材料拉出至耐高温管露于炉体外的部分之后，还包括：

使用冷却液或散热片对耐高温管露于炉体外的部分进行降温。