[发明专利]电沉积铝

权利要求书

1.一种包含镀液的电沉积铝用物质组合物，该镀液包含铝盐在基本无水有机溶剂中的溶液，该铝盐选自

卤代铝醇化物，其中所述卤代铝醇化物中的卤素选自氟或氯；或

具有带吸电子基团的阴离子的铝盐，其中所述具有带吸电子基团的阴离子选自五卤代苯甲酸根、取代的磺酸根阴离子或卤代羧酸阴离子。

2.如权利要求1的组合物，其中所述铝醇化物的醇根阴离子选自卤代甲醇根、卤代乙醇根、卤代异丙醇根、卤代正丙醇根、卤代异丁醇根、卤代正丁醇根或卤代叔丁醇根。

3.如权利要求1的组合物，其中所述卤代铝醇化物的醇根阴离子为根据通式Ia、Ib、Ic、Id、Ie、If或Ig的任意一种的化合物，

其中R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹、R¹⁰、R¹¹和R¹²彼此独立地选自氢或卤素，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹、R¹⁰、R¹¹和R¹²中的至少一个为卤素。

4.如权利要求3的组合物，其中任意给定阴离子中的R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹、R¹⁰、R¹¹和R¹²中的一半以上为卤素。

5.如权利要求3的组合物，其中R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹、R¹⁰、R¹¹和R¹²彼此独立地选自氢、氟或氯；或其中R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸和R⁹彼此独立地选自氢、氟或氯，而R¹⁰、R¹¹和R¹²为氢。

6.如权利要求5的组合物，其中R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹、R¹⁰、R¹¹和R¹²彼此独立地选自氟或氯。

7.如权利要求5的组合物，其中R¹、R²、R³、R⁴、R⁵、R⁶、R⁷、R⁸、R⁹、R¹⁰、R¹¹和R¹²全部为氟或全部为氯。