[发明专利]测量柱状隔垫物的方法和装置有效

专利信息
申请号: 200810103430.0 申请日: 2008-04-03
公开(公告)号: CN101551232A 公开(公告)日: 2009-10-07
发明(设计)人: 卓先乐 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02;G02F1/1333
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 代理人: 刘 芳
地址: 100176北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 测量 柱状 隔垫物 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种测量柱状隔垫物的方法,其特征在于包括以下步骤:

步骤1、将标准图像预先存入计算机中并预先设定柱状隔垫物位置的定位精度;

步骤2、测量镜头采集指定的柱状隔垫物测量位置的当前图像,计算所述当前图像中柱状隔垫物的位置与所述标准图像中柱状隔垫物的位置的偏差值;

步骤3、判断所述偏差值是否符合预设的定位精度,若符合则执行步骤5,若不符合则执行步骤4;

步骤4、对所述柱状隔垫物的测量位置进行修正,执行步骤2;

步骤5、对当前位置的柱状隔垫物进行测量。

2.根据权利要求1所述的测量柱状隔垫物的方法,其特征在于所述步骤4中所述对所述柱状隔垫物位置进行修正具体为:根据所述偏差值控制所述测量镜头进行修正移动。

3.一种测量柱状隔垫物的装置,其特征在于包括:图像采集系统、微机控制系统、位置修正系统和柱状隔垫物测量系统,其中,

所述图像采集系统,用于获取所述柱状隔垫物位置的当前图像并将所述当前图像进行反馈;

所述微机控制系统,与所述图像采集系统连接,用于向所述图像采集系统发送控制命令并将反馈回的所述当前图像与预存的标准图像进行比对,计算所述当前图像中柱状隔垫物的位置与所述标准图像中柱状隔垫物的位置偏差值,如果所述偏差值小于预设的定位精度,进入柱状隔垫物测量系统,如果所述偏差值大于预设的定位精度,根据所述位置偏差值生成位置修正指令并向位置修正系统发送所述位置修正指令,根据所述位置修正系统的反馈,再次向所述图像采集系统发送控制命令并将反馈回的所述当前图像与预存的标准图像进行比对;

所述位置修正系统,与所述微机控制系统连接,用于根据微机控制系统的指令执行位置修正处理并反馈给所述微机控制系统;

所述柱状隔垫物测量系统,与所述微机控制系统连接,用于在满足定位精度的当前位置进行柱状隔垫物测量。 

4.根据权利要求3所述的测量柱状隔垫物的装置,其特征在于,所述图像采集系统包括:图像采集镜头模块、数字摄像头模块和图像处理合成模块,其中,

图像采集镜头模块,与所述微机控制系统和所述数字摄像头模块连接,用于在所述微机控制系统的控制下对干涉图形进行扫描采集,并将扫描采集到的干涉图形发送给所述数字摄像头模块;

数字摄像头模块,与所述图像处理合成模块和所述图像采集镜头模块连接,用于接收所述图像采集镜头模块发送的所述扫描采集到的干涉图形,并将所述扫描采集到的干涉图形发送给所述图像处理合成模块;

图像处理合成模块,与所述数字摄像头模块和所述微机控制系统连接,用于接收数字摄像头模块发送的所述扫描采集到的图形,对所述扫描采集到的图形进行合成处理形成当前图像,并将所述当前图像反馈到所述微机控制系统中。

5.根据权利要求3所述的测量柱状隔垫物的装置,其特征在于所述位置修正系统包括:运动控制器模块、电机驱动器模块以及坐标轴电机模块,其中,

运动控制器模块,与所述微机控制系统、电机驱动器模块以及坐标轴电机模块连接,用于将所述微机控制系统发送的控制命令发送给所述电机驱动器模块;将所述坐标轴电机模块发送的位置信息反馈给所述微机控制系统;

电机驱动器模块,与所述运动控制器模块和所述坐标轴电机模块连接,用于根据所述运动控制器模块的控制命令驱动所述坐标轴电机模块;

坐标轴电机模块,与所述运动控制器模块和电机驱动器模块连接,用于在电机驱动器模块的驱动下对图像的采集位置坐标轴进行修正移动,并将新的位置信息发送至所述运动控制器模块。 

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