[发明专利]检测装置、检测方法和电子装置

权利要求书

1.一种检测装置，包括：

悬臂振动陀螺，其包括具有第一侧和第二侧的压电元件，该第一侧提供 有驱动电极和一对检测电极，该驱动电极以预定间隔布置在该对检测电极之 间，该第二侧与该第一侧相对并且提供有公共电极，所述悬臂振动陀螺由在 所述驱动电极和公共电极之间输入的驱动信号振动，并且从该对检测电极生 成对应于科里奥利力的一对检测信号；

偏置施加装置，用于施加偏置电压到该对检测电极；

加法装置，用于将该对检测信号相加；

第一相位延迟装置，用于将由加法装置相加的检测信号的相位延迟大于 45°而小于90°的范围；以及

振幅控制装置，用于控制由第一相位延迟装置延迟的检测信号到预定电 压振幅，并且输出检测信号作为驱动信号。

2.如权利要求1所述的检测装置，其中振动陀螺在高于该振动陀螺的 谐振频率的频率引起自激振荡。

3.一种检测装置，包括：

悬臂振动陀螺，其包括具有第一侧和第二侧的压电元件，该第一侧提供 有驱动电极和一对检测电极，该驱动电极以预定间隔布置在该对检测电极之 间，该第二侧与该第一侧相对并且提供有公共电极，所述悬臂振动陀螺由在 所述驱动电极和公共电极之间输入的驱动信号振动，并且从该对检测电极生 成对应于科里奥利力的一对检测信号；

偏置施加装置，用于施加偏置电压到该对检测电极；

加法装置，用于将该对检测信号相加；

第一相位延迟装置，用于将由加法装置相加的检测信号的相位延迟第一 延迟量；

振幅控制装置，用于控制由第一相位延迟装置延迟的检测信号到预定电 压振幅，并且输出检测信号作为驱动信号；

差分放大器装置，用于差分放大该对检测信号；

第二相位延迟装置，用于将由加法装置相加的检测信号的相位延迟不同 于第一相位量的第二相位量；以及

同步检测装置，用于基于由第二相位延迟装置延迟的检测信号，同步地 检测由差分放大器装置差分放大的信号。

4.如权利要求3所述的检测装置，其中振动陀螺在高于该振动陀螺的 谐振频率的频率引起自激振荡。

5.一种利用悬臂振动陀螺检测角速度的方法，该悬臂振动陀螺包括具有 第一侧和第二侧的压电元件，该第一侧提供有驱动电极和一对检测电极，该 驱动电极以预定间隔布置在该对检测电极之间，该第二侧与该第一侧相对并 且提供有公共电极，所述悬臂振动陀螺由在所述驱动电极和公共电极之间输 入的驱动信号振动，并且从该对检测电极生成对应于科里奥利力的一对检测 信号，所述方法包括：

施加偏置电压到该对检测电极；

将该对检测信号相加；

将通过相加获得的检测信号的相位延迟大于45°而小于90°的范围； 以及

控制延迟的检测信号到预定电压振幅，并且输出检测信号作为驱动信 号。

6.如权利要求5所述的方法，其中振动陀螺在高于该振动陀螺的谐振 频率的频率引起自激振荡。

7.一种利用悬臂振动陀螺检测角速度的方法，该悬臂振动陀螺包括具有 第一侧和第二侧的压电元件，该第一侧提供有驱动电极和一对检测电极，该 驱动电极以预定间隔布置在该对检测电极之间，该第二侧与该第一侧相对并 且提供有公共电极，所述悬臂振动陀螺由在所述驱动电极和公共电极之间输 入的驱动信号振动，并且从该对检测电极生成对应于科里奥利力的一对检测 信号，所述方法包括：

施加偏置电压到该对检测电极；

将该对检测信号相加；

将通过相加获得的检测信号的相位延迟第一相位量；

控制延迟的检测信号到预定电压振幅，并且输出检测信号作为驱动信 号；

差分放大该对检测信号；

将通过相加获得的检测信号的相位延迟不同于第一相位量的第二相位 量；以及

基于延迟第二相位量的检测信号，同步地检测被差分放大的信号。

8.如权利要求7所述的方法，其中振动陀螺在高于该振动陀螺的谐振 频率的频率引起自激振荡。