[发明专利]吸附工作台

说明书

技术领域

本发明涉及吸附工作台，特别涉及使用在通过抽吸来保持例如基板等板状部件的吸附工作台中的吸振装置。

并且，基板并不仅限于印刷配线基板，它是各种基板的总称：例如，挠性基板、多层配线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板、以及半导体封装用的封装基板、或薄膜载体、半导体晶片或成为检查对象的薄片状部件。

背景技术

当在印刷配线基板上形成电路图案时，有时在电路图案中会产生短路或断路等缺陷。为了发现这样的基板缺陷，例如使用了光学检查装置。这样的光学检查装置具有：工作台，其用于保持检查基板；光照射装置，其朝向检查基板的电路图案输出检查用的光；光检测装置，其接收从电路图案反射回来的光；以及控制装置，其根据检测到的光来分析电路图案调查缺陷的状况。

专利文献1：日本特开2004-90137号公报

专利文献1公开了具有多孔质体的吸附部件的基板保持器。该吸附部件属陶瓷系列，其孔的平均孔径为30μm到50μm。该基板保持器通过具有堵塞基板贯通孔的吸附部位，来提供稳定的吸附。

作为吸附部件，此外还可以利用具有一定大小的直径的小孔的发泡性树脂。

在吸附工作台上通过管连接有真空泵等抽吸装置，利用该抽吸装置的抽吸力，将吸附工作台上的基板等板状部件固定在吸附工作台的载置面上。当为了该抽吸而使抽吸装置动作时，在连接抽吸装置和吸附工作台的管内产生周期性的压力变动，真空压力会产生波动。若这样的周期性压力波动直接传递到吸附工作台上的板状部件，则该波动就会传递到板状部件上而使其振动。其结果为，响应该振动，板状部件在高度方向上产生位置不正，预先设定的光学式检查装置的光束的到达距离、和电气式检查装置的高度方向(z方向)上的移动就会产生偏差。因此，由于该偏差，产生了摄像得到的图像紊乱、或者板状部件不能与可进行电连接的夹具稳定地接触的状况。

此外，并不限定于用于实施检查的光学检查装置，在载置如基板那样的板状部件，并用于进行预定处理的加工装置或处理装置中，也要求提供振动不会传递到所载置的板状部件上的吸附工作台。

发明内容

本发明鉴于上述课题而完成，目的在于提供一种吸附工作台，其可以吸收各种频率的振动，防止将振动传递到进行检查或加工等预定处理的基板等板状部件上。

因此，本发明所述的吸振装置是一种板状装置，其与真空抽吸单元连接，并应用于保持成为载置对象的被载置部件的吸附工作台中，其特征在于，在所述吸振装置的一方侧载置被载置部件，所述吸振装置的另一方侧与真空抽吸单元连接，所述吸振装置具有通气道，该通气道将与真空抽吸单元之间的连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔通过壁面而形成，该壁面由点接触地结合起来的金属碎片构成，所述吸振装置吸收由真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到被载置部件上。

因此，本发明所述的检查基板保持装置的特征在于，所述检查基板保持装置具有：吸振装置，其是板状的吸振装置，与真空抽吸单元连接，并应用于保持被检查基板的吸附工作台中，在所述吸振装置的一方侧载置被检查基板，所述吸振装置的另一方侧与真空抽吸单元连接，所述吸振装置具有通气道，该通气道将与真空抽吸单元之间的连接部位和所述吸振装置的所述一方侧连通地连接起来，通气道由大小不同的大量小孔构成，这些小孔通过壁面而形成，所述壁面由点接触地结合起来的金属碎片构成，所述吸振装置吸收由真空抽吸单元引起的振动，防止振动传递到被检查基板上；和薄片状部件，其是载置在吸振装置的一方侧的薄片状部件，在薄片状部件上载置被检查基板，薄片状部件具有通气道，该通气道将吸振装置的通气道，与薄片状部件的载置被检查基板的面连通起来，通气道形成为比吸振装置的小孔小且均匀的大小，由此，空气被均等地分散和抽吸。

也可以是：大量的小孔根据开口直径而至少被分为三个组，三个组配置成层叠结构。

金属碎片也可以是铸铁的切削碎片。

薄片状部件也可以是无尘纸。

大量的小孔的直径优选在100μm以内。