[发明专利]移栽容器的气阀结构

权利要求书

1、一种移载容器的气阀结构，其特征在于该供储存晶圆或光掩膜的移载容器具有可选择性启闭的容置空间，又该移载容器上设有一个或多数的气阀，而移载容器可供摆置于对应的承载装置上，且该承载装置上设有对应移载容器气阀的进排气阀件，其中：

该气阀，具有一中空的阀体，且阀体内部中段形成设有一具有较小通孔的隔片，又阀体内部在隔片两侧分别形成一第一槽孔与一第二槽孔；

再者该阀体内滑设有一浮动杆，该浮动杆的两端分别形成设有一较大径的抵顶部与一较小径的颈部；

该浮动杆的颈部可穿经一弹簧后，由阀体第一槽孔经隔片进入第二槽孔，并在该颈部上套设有一密封垫圈，使浮动杆可通过弹簧让密封垫圈可选择性启闭阀体的隔片。

2、根据权利要求1所述的移载容器的气阀结构，其特征在于其中所述的气阀的浮动杆抵顶部的周缘具有一个或多数供气流流动的通道。

3、根据权利要求1或2所述的移载容器的气阀结构，其特征在于其中所述的移载容器上埋设有一螺帽，而该气阀的阀体在对应外缘形成设有一螺纹段，供气阀锁设于移载容器上，使得气阀可便于由移载容器外部组装与拆解。

4、根据权利要求1所述的移载容器的气阀结构，其特征在于其中所述的移载容器可选自晶圆传送箱或光掩膜盒。

5、根据权利要求1或4所述的移载容器的气阀结构，其特征在于其中所述的承载装置的进排气阀件可为一进气阀件，进气阀件具有一中空的阀体，该阀体内设有一可选择性启闭流道的浮动杆，该浮动杆上具有至少一供气流流动的通孔，且该浮动杆并具有向上凸出的推杆，该推杆可选择性推动气阀的浮动杆。

6、根据权利要求1或4所述的移载容器的气阀结构，其特征在于其中所述的承载装置的进排气阀件可为一稳压阀件，该稳压阀件则具有一中空的阀体，该阀体内部形成设有一隔片，且该隔片的顶面具有一供选择性启闭气阀的推杆；又该阀体的隔片上形成设有一个或多数流道孔，且流道孔是跨设于气阀的内、外，使得稳压阀件可同步吸排移载容器的容置空间与外部环境的气体。