[发明专利]充气设备与入气端口装置

权利要求书

1.一种充气设备，与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分，该充气设备包含：

至少一承座，用以承载该存放装置；以及

至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，其特征在于，该入气端口装置包含有：

一第一基座，具有一贯穿孔；

一第二基座，设于该第一基座上，亦具有一贯穿孔对应于该第一基座的贯穿孔；

一第一弹性件，设于该第二基座上且对应于与该存放装置的入气部分接触处，用以保持气密性；

一固定件，固设于该第二基座上，用以将该第一弹性件固定于该第二基座；

一开关装置，设于该第一基座与该第二基座的贯穿孔内，用以控制进出该入气端口装置的气体，其包含有：

一中空管部，该管部的一端固接于该第二基座，另一端具有一扩大部，卡持于该第一基座，由此封闭该第一基座的贯穿孔，该管部靠近该扩大部的部分设有至少一孔隙，用以供气体进入该管部的中空部分；

一伸缩件，环设于该管部的外侧，卡设于该第二基座与该第一基座之间；

其中，当该存放装置设置于该承座上，该存放装置的入气部分与该入气端口装置相接触，该存放装置的重量将使该第二基座向下移动，带动该开关装置向下移动使得该扩大部与该第一基座分离，使该管部的孔隙露出，由此使得气体得以流入该开关装置并且充入至该存放装置；

当该存放装置离开该承座时，该伸缩件会将该第二基座抬升，带动该管部的扩大部回复封闭该第一基座贯穿孔的位置。

2.根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该固定件与该第二基座的固接方式为卡制或螺旋。

3.依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该开关装置的管部与该第二基座的固接方式为卡制或螺旋。

4.依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该开关装置的扩大部上另设置一第二弹性件，以保持该开关装置与该第一基座之间的气密性。

5.依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该第一基座另包含有至少一锁固位置，以至少一锁固件与该承座接合。

6.依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该第一基座与该供气装置连接。

7.根据权利要求6所述的充气设备，其特征在于，该第一基座与该供气装置的连接方式为卡制或螺旋。

8.一种入气端口装置，设于一充气设备的承座上，该充气设备与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个置于该承座上用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分，且该入气端口设置于与存放装置入气部分对应的位置，其特征在于，该入气端口装置包含有：

一第一基座，具有一贯穿孔；

一第二基座，设于该第一基座上，亦具有一贯穿孔对应于该第一基座的贯穿孔；

一第一弹性件，设于该第二基座上且对应于与该存放装置的入气部分接触处，用以保持气密性；

一固定件，固设于该第二基座上，用以将该第一弹性件固定于该第二基座；

一开关装置，设于该第一基座与该第二基座的贯穿孔内，用以控制进出该入气端口装置的气体，其包含有：

一中空管部，该管部的一端固接于该第二基座，另一端具有一扩大部，卡持于该第一基座，由此封闭该第一基座的贯穿孔，该管部靠近该扩大部的部分设有至少一孔隙，用以供气体进入该管部的中空部分；

一伸缩件，环设于该管部的外侧，卡设于该第二基座与该第一基座之间；

其中，当该存放装置设置于该承座上，该存放装置的入气部分与该入气端口装置相接触，该存放装置的重量将使该第二基座向下移动，带动该开关装置向下移动使得该扩大部与该第一基座分离，使该管部的孔隙露出，由此使得气体得以流入该开关装置并且充入至该存放装置；

当该存放装置离开该承座时，该伸缩件会将该第二基座抬升，带动该管部的扩大部回复封闭该第一基座贯穿孔的位置。

9.依据权利要求8所述的入气端口装置，其特征在于，该开关装置的扩大部上另设置一第二弹性件，以保持该开关装置与该第一基座之间的气密性。

10.依据权利要求8所述的入气端口装置，其特征在于，该第一基座与该供气装置连接。