[发明专利]探针卡组件以及使用于探针卡组件的中介装置

权利要求书

1. 一种探针卡组件，用于一待测晶圆的测试，主要包含一母板与子板，所述子板邻近中央附近设置有多个测试探针，用以接触待测晶圆，其特征在于：

所述子板朝向所述母板以环形阵列状设置有多个第一电性接点，所述母板中央部份设有一开口，所述开口外侧对应于所述多个第一电性接点处，以环形阵列状设置有多个第二电性接点；所述探针卡组件进一步包含有至少一个间隔件与多个中介装置，其中所述间隔件具有一预先设定的厚度，且设置于所述母板与子板之间，其上设有多个开槽，以使所述多个中介装置容置其中，所述多个中介装置包含有多个弹性导电销，所述多个弹性导电销其一端为第三电性接点，另一端为第四电性接点，且所述多个弹性导电销包含有导电金属颗粒与适当的高分子材料，且所述多个中介装置受压缩后可弹性变形，以使得所述多个第三电性接点用以接触所述多个第一电性接点，所述多个第四电性接点用以接触所述多个第二电性接点，以使电气信号从所述多个第一电性接点经由所述多个中介装置导通至所述多个第二电性接点。

2.依据权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述多个中介装置的厚度略大于所述间隔件预先设定的厚度，以及所述多个中介装置受压缩变形后的厚度不小于所述间隔件预先设定的厚度。

3.依据权利要求2所述的探针卡组件，其特征在于，所述多个中介装置进一步包含有一本体，所述本体进一步包含有一第一框架，以及包覆于所述第一框架外部的第二框架，其中所述第二框架的弹性系数小于所述第一框架的弹性系数。

4.依据权利要求2所述的探针卡组件，其特征在于，所述多个中介装置的两端进一步凸设有成对的定位销，用以插入定位设置于所述母板或所述子板的定位孔。

5.依据权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述多个测试探针为悬臂式探针或弹簧探针。

6.依据权利要求1所述的探针卡组件，其特征在于，所述间隔件呈中空的环状结构以及所述间隔件是以单一的平面状构件或多个平面状构件组成中空  的环状结构及所述多个开槽。