[发明专利]转档系统及其转档方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种转档系统及其转档方法，特别是涉及一种可简化、统一转档步骤，可全自动化运作，转档后的目标测试模组可重复使用，减少人为疏失，提升工作效率，且系统扩充性高，可减低相关成本的半导体测试领域的转档系统及其转档方法。

背景技术

在半导体测试领域，通常使用测试系统如针测卡(probe card)系统，其精密的接触机构与待测晶圆作接触，形成电性通路并执行测试。其中，半导体测试系统会将测试模式(test pattern)传递到一测试介面，再转送至针测卡上并先后与晶圆上的待测晶片接触，之后测试模式以相同路径传回。此测试介面也可称为测试机(tester)，关于测试机在半导体测试系统扮演的角色，可参考中国台湾专利I261331号，题为“以多种程式对多种元件加以多点测试的方法”的说明。

一种典型的测试机可能包含一测试模式产生器(pattern generator)以产生上述的测试模式。典型的测试流程是由测试模式产生器根据待测晶片的种类，或者根据待测晶片所储存的资料如软件码(function code)，产生一预期测试模式(expected test pattern)，预期测试信号(信号即讯号)可能被储存于一记忆体(存储器)内，之后预期测试模式被撷取并输入至待测晶片进行测试，晶片在测试后会输出一实际测试模式，最后比较预期测试模式与实际测试模式是否相同，如果相同则通过测试，如果不相同则未通过测试。

在半导体测试领域，经常需要测试由客户端提供的晶圆，这意味者经常会碰到客户与厂内使用不同测试机的情形。然而，基于技术保留，某家厂商所开发的测试机所产生的测试模式，通常无法被其他厂商所读取。例如，第一家厂商的测试机开发一种周期格式(cycle format)的测试模式，则第二家厂商使用事件格式(event format)测试模式的测试机即无法进行读取；并且，即使第三家厂商也使用类似周期格式测试模式的测试机，通常也无法读取第一家厂商的测试机产生的测试模式。

因此，在接获客户的测试订单后，必须向客户索取待测晶圆的测试模式，以人工撰写程式，做一转档的程序，转换成厂内测试机可读取的格式。对于不同的产品，即不同种类的晶片，因为具有不同的接脚(pin)数量而会有不同的测试模式，必须分别加以转档。而即使是相同的产品，即相同的晶片，因其储存的软件码(function code)不同，例如音乐晶片烧录的歌曲不同，也会有不同的测试模式，而必须分别转档。

现有的情形经常是在接获客户的测试订单后，才得知要测试哪一种产品、哪一种软件码。通常客户可能以电子邮件方式传送待测产品的测试模式，待接收到测试模式后，以上述人工方式转档成厂内测试机可以读取的测试模式。这样的转档程序相当浪费时间，如以每天要测试10种产品(包含相同产品不同软件码)计算，每天大约要花费三、四个小时用于转档；且经常在接近或超过下班时间产生转档的要求，导致负责工程师必须加班处理才能满足客户需求。此外，也经常发生在收到客户的待测货品时，因为人员不在无法转档而无测试模式可以测试；或者因为转档步骤复杂，交接不易，经常发生客户有急件待测，但生产线人员却无法取得测试模式，以致延误产品的交货时间，甚至以错误的测试模式测试而遭致客户索赔。除了转档时间过长、转档步骤过多、交接困难、容易出错外，其他以上述转档程序的缺点还有必须转档的种类繁杂、容易发生人为疏失、量产前置时间过长等等缺陷。

由此可见，上述现有的转档系统及其转档方法在转档方法、产品结构及使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般方法及产品又没有适切的方法及结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新的转档系统及其转档方法，可以改善上述诸多缺失、节省成本与提高效率，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

有鉴于上述现有的转档系统及其转档方法存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新的转档系统及其转档方法，能够改进一般现有的转档系统及其转档方法，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容