[发明专利]磁头滑块的研磨装置

权利要求书

1.一种磁头滑块的研磨装置，其特征在于包括：

用于研磨要成为磁头滑块元件的可旋转的研磨平盘；

具有内部空间并沿与所述研磨平盘正交的研磨平盘正交轴延伸的压力调整部件；

连接在所述压力调整部件上，用于压紧所述元件的推动器；以及

连接在所述压力调整部件上，向所述内部空间提供气体的气体供给装置；

所述压力调整部件包括：包含与所述推动器连接的连接部的第一部分、包含与所述内部空间和所述气体供给装置相连的相连部的第二部分、以及设置在所述第一部分和所述第二部分之间并根据所述内部空间的压力而使所述研磨平盘正交轴方向长度产生变化的轴向变形部，通过所述轴向变形部的变形使得所述压力调整部件对所述推动器的压力产生变化。

2.如权利要求1所述的磁头滑块研磨装置，其特征在于：

所述第一部分的形状为，与所述推动器连接的连接部一侧端部封闭并且该连接部相反一侧端部开放的圆筒形，

所述第二部分的形状为，与所述气体供给装置相连的相连部一侧端部以及该相连部相反一侧端部都开放的圆筒形，

所述轴向变形部包括：

以所述研磨平盘正交轴为中心，并以所述第一部分的所述相反一侧端部的圆周部为内周部的第一圆环部；

以所述研磨平盘正交轴为中心，并以所述第二部分的所述相反一侧端部的圆周部为内周部的第二圆环部；以及

与所述第一圆环部的外周部和所述第二圆环部的外周部连接的圆筒部。

3.如权利要求1所述的磁头滑块研磨装置，其特征在于：所述压力调整部件由橡胶形成。

4.如权利要求1至3中任一项所述的磁头滑块研磨装置，其特征在于包括：

设置有所述压力调整部件、所述推动器、以及所述气体供给装置的研磨头；

设置有沿垂直方向延伸的第一嵌合部件并支持所述研磨头的支撑结构；

设置有沿垂直方向延伸的第二嵌合部件并支持所述支撑结构的基部，所述第二嵌合部件与所述第一嵌合部件嵌合，并在所述第二嵌合部件和所述第一嵌合部件之间形成嵌合部内部空间；以及

降低所述嵌合部内部空间压力的减压结构；

所述支撑结构受到来自减压后的所述嵌合部内部空间沿垂直方向向上的力，所述基部沿垂直方向可活动支持所述支撑结构。

5.如权利要求4所述的磁头滑块研磨装置，其特征在于：所述第一嵌合部件是设置在所述支撑结构上的汽缸，所述第二嵌合部件是设置在所述基部上的活塞。

6.如权利要求4所述的磁头滑块研磨装置，其特征在于：所述第一嵌合部件是设置在所述支撑结构上的活塞，所述第二嵌合部件是设置在所述基部上的汽缸。