[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1. 一种激光加工装置，其具有：卡盘工作台，其保持被加工物；激 光光束照射构件，其向保持在上述卡盘工作台上的被加工物照射激光光 束；以及对上述卡盘工作台和上述激光光束照射构件相对地进行加工进 给的加工进给构件，其特征在于，

上述激光光束照射构件具有：

激光光束振荡构件，其振荡激光光束；

分光器，其将由上述激光光束振荡构件振荡出的激光光束，分割为 具有第一偏光面的第一激光光束和具有与该第一偏光面正交的第二偏光 面的第二激光光束；

转动λ/2波片，其配置在上述激光光束振荡构件和上述分光器之间；

聚光透镜，其配置在引导由上述分光器分割而成的上述第一激光光 束的第一光路上；

第一反射镜，其配置在引导由上述分光器分割而成的上述第二激光 光束的第二光路上，用于使上述第二激光光束返回上述分光器；

第一λ/4波片，其配置在上述分光器和上述第一反射镜之间；

第二反射镜，其配置在第三光路上，经上述第二光路而返回到上述 分光器后的上述第二激光光束被分割到上述第三光路上，该第二反射镜 用于使分割到上述第三光路上的上述第二激光光束返回上述分光器；

第二λ/4波片，其配置在上述分光器和上述第二反射镜之间；以及

柱面透镜，其配置在上述分光器和上述第二λ/4波片之间，

经上述第三光路而返回到上述分光器后的上述第二激光光束经上述 第一光路而被导向上述聚光透镜。