[发明专利]除电搬送装置及搬送时的除电方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种除电搬送装置及搬送时的除电方法，在搬送带电产品等的时候进行除电。

背景技术

液晶面板或等离子显示器、半导体基板等电子设备是在绝对无尘室内制造的，但若电子设备上带静电，则产生构成电子设备的绝缘体被电破坏或在构成电子设备的电路上附着微粒子而短路的静电障碍的危险。为此，在电子设备的制造工序中，使用软X射线式除电器或放电式静电消除器等除电器来消除在电子设备上产生的静电的技术已广为人知(例如，参照专利文献1)。

另外，在将经过制造工序的电子设备存放于盒子中、或向下一个工序移送的搬送工序中，消除电子设备上产生的静电。例如，如图10、11所示，在制造设备100的出口侧设有移载室110，该移载室110的天花板侧配设有流出洁净空气的风扇120。并且，在风扇120的气流的上流侧配设有放电式静电消除器130，在下流侧配设有搬送机器人140。而且，在通过放电式静电消除器130产生了空气离子的状态下，由搬送机器人140从制造设备100侧保持玻璃基板(电子设备)M，将玻璃基板M向盒子150侧移送并存放于盒子150中。在该移送中，在玻璃基板M上产生的静电通过空气离子被中和、从而被除电。

专利文献1日本特开2006-221998号公报

但是，作为空气离子在玻璃基板M的带电面附近存在的厚度的除电空间厚度为某种程度厚时(例如10cm以上时)，除电器的除电效果(除电速度)很大程度上依赖于带电面附近的离子浓度和电场强度。即，离子浓度越高、电场强度越强，可以得到越好的除电效果。对此，在如上述的搬送工序的除电方法中，在玻璃基板M的周围存在的接地部件是由接地导体构成的移载室110的天花板和壁及盒子150。并且，由于移载室110的天花板与玻璃基板M的距离D1较大(例如2m以上)，因此带电面附近的电场强度较弱，不能得到好的除电效果。另外，在从制造设备100侧保持玻璃基板M时、和将玻璃基板M存放于盒子150中时，玻璃基板M与壁的距离D2和玻璃基板M与盒子150的距离D3较窄，但由于时间非常短而很难对玻璃基板M进行充分的除电。而且，相对置于玻璃基板M的带电面(水平面)，移载室110的壁面位于垂直的方向上，盒子150位于横方向上(同一水平面上)，不对置。因此，即使使玻璃基板M长时间接近于移载室110的壁或盒子150，也不能在玻璃基板M的带电面的整个面上形成均匀且强的电场，很难对带电面的整个面进行有效地除电。

图12是表示用如上述的除电方法除电时(变化曲线L1)、和不除电时(变化曲线L2)的玻璃基板M的电位变化的一例的图。图中符号P1表示制造设备100中玻璃基板M即将被提起之前的时刻，符号P2表示被提起之后的时刻，符号P3表示搬送中，符号P4表示将玻璃基板M存放于盒子150中后的时刻(搬送机器人140离开玻璃基板M的时刻)。如该图所示，可知用如上述的除电方法，玻璃基板M的除电需要长时间，并且不能完全除电而不能有效地(有效率地)除电。其结果，在除电不足的情况下搬出玻璃基板M，则静电障碍的危险变高。另一方面，为了进行充分地除电，若设置多个除电器则导致设备成本的增大，若延长除电时间则导致生产率的下降。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种可以对带电体进行有效地除电并搬送的除电搬送装置及搬送时的除电方法。

为了达到上述目的，技术方案1所述的发明是一种除电搬送装置，包括保持带电的带电体并搬送的搬送机器人、和通过空气离子将上述带电体上所带的电中和而除电的除电器，其特征在于，在保持上述带电体的上述搬送机器人的保持部上，配设被控制为规定电位的导电部件，使该导电部件在保持部保持上述带电体时隔开规定的距离与上述带电体对置，并且配设上述除电器，使上述空气离子至少位于(被形成、提供)上述带电体与上述导电部件之间。

若由搬送机器人的保持部保持带电体，则导电部件隔开规定距离与带电体对置，通过除电器，使空气离子位于带电体与导电部件之间。

技术方案2所述的发明是，如技术方案1所述的除电搬送装置中，其特征在于，上述导电部件与上述带电体的距离被设定为1～20cm。

技术方案3所述的发明是，如技术方案1所述的除电搬送装置中，其特征在于，上述导电部件的电位被设定为接地电位。

技术方案4所述的发明是，如技术方案1所述的除电搬送装置中，其特征在于，上述导电部件形成、配设为与对置的上述带电体的面在整个面上均匀地对置。