[发明专利]固态图像捕获装置和电子信息装置无效

专利信息
申请号: 200810095153.3 申请日: 2008-02-15
公开(公告)号: CN101262003A 公开(公告)日: 2008-09-10
发明(设计)人: 河村智彦 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L21/76
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 张雪梅;刘春元
地址: 日本大阪*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 固态 图像 捕获 装置 电子信息
【权利要求书】:

1.一种固态图像捕获装置,该固态图像捕获装置中每一个都用于将入射光转换为信号电荷的多个光接收器件二维排列,通过光接收器件处的转换获得的信号电荷通过电荷转移器件转移到电压转换部件,并且根据在电压转换部件处的转换获得的信号电压而放大的信号被读取,

其中

将器件隔离绝缘膜和器件隔离半导体层提供给器件隔离部以将相邻的器件彼此隔离,

器件隔离绝缘膜的端部和器件隔离半导体层的端部设置成彼此重叠,以便包围电压转换部件的外围的两侧,以及包围电荷转移器件的沟道部分和光接收器件,以及

相对于光接收器件侧的控制电极的端面,面对光接收器件的端面的器件隔离绝缘膜的端部设置在控制电极下面靠里,或者,面对光接收器件的端面的器件隔离绝缘膜的端部设置为突出部分,该突出部分延伸超出光接收器件侧的控制电极的端面下的部分,并且沿着光接收器件外围的边突出。

2.一种固态图像捕获装置,其中每一个用于把入射光转换为信号电荷的多个光接收器件二维排列,通过光接收器件的转换获得的信号电荷通过电荷转移器件转移到电压转换部件,并且根据在电压转换部件处的转换获得的信号电压而放大的信号被读取,

其中

器件隔离绝缘膜和器件隔离半导体层提供给器件隔离部以将相邻的器件彼此隔离,

该器件隔离绝缘膜的端部和该器件隔离半导体层的端部设置成彼此重叠,以便包围电压转换部件的外围的两侧,以及包围电荷转移器件的沟道部分和光接收器件,以及

沿着该电压转换部件的外围的两侧延伸的器件隔离绝缘膜在其宽度方向全部或部分地设置在电荷转移器件的控制电极两端下,或者,器件隔离绝缘膜在其宽度方向全部或部分地设置为突出部分,该突出部分沿着电压转换部件的外围的两侧延伸、延伸超出控制电极各端下的部分并且沿着光接收器件的外围突出。

3.根据权利要求2的固态图像捕获装置,其中该电荷转移器件的控制电极的两端设置在器件隔离绝缘膜和器件隔离半导体层中每一个的全部或部分宽度上。

4.根据权利要求1或2的固态图像捕获装置,其中像素部包括:光接收器件和电荷转移器件,在平面视图上具有正方形形状或矩形形状的像素部的角部,保持成使得电荷转移晶体管的控制电极以倾斜方式设置在平面视图上具有正方形形状或矩形形状的该像素部的角部的相邻边上,光接收器件设置在该像素部中除该角部和控制电极区域之外,电压转换部件设置在该角部或包括该角部的区域。

5.根据权利要求4的固态图像捕获装置,其中两个像素部被排列为角部彼此相邻,该两个像素部的角部以集成的方式彼此耦合,所述角部彼此耦合的区域形成单个电压转换部件,并且该电压转换部件被该两个像素部共享。

6.根据权利要求4的固态图像捕获装置,其中四个像素部被排列为角部彼此相邻,该四个像素部的角部以集成的方式彼此耦合,所述角部彼此耦合的区域形成单个电压转换部件,并且该电压转换部件被该四个像素部共享。

7.根据权利要求4的固态图像捕获装置,其中四个像素部被排列为角部彼此相邻,该四个像素部中的两个像素部的角部以集成的方式分别与另两个像素部的角部耦合,所述两个像素部彼此耦合的一个区域和所述另两个像素部彼此耦合的另一个区域,分别形成一个电压转换部件和另一个电压转换部件,所述两个像素部共享所述一个电压转换部件,所述另两个像素部共享所述另一个电压转换部件,并且器件隔离绝缘膜设置在所述一个电压转换部件和所述另一个电压转换部件之间。

8.根据权利要求1或2的固态图像捕获装置,其中该器件隔离绝缘膜的端部至少位于这样的区域内,在该区域中在控制电极下方产生的电场在从控制电极下方的部分到电压转换部件的方向上产生。

9.根据权利要求8的固态图像捕获装置,其中考虑到在所述区域中器件隔离绝缘膜的尺寸,该器件隔离绝缘膜以最大工艺利用率形成为具有最小尺寸。

10.根据权利要求1或2的固态图像捕获装置,其中该器件隔离绝缘膜的该端部至少通过一区域远离该光接收器件的所述端面定位,在该区域中在控制电极下方产生的电场在从控制电极下方的部分到该光接收器件的方向上产生。

11.根据权利要求1或2的固态图像捕获装置,其中该突出部分的突出长度是与该光接收器件一边的方向对应的该控制电极的切割长度或短于该切割长度。

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