[发明专利]一种烧结式均热板及其制作方法

权利要求书

1.一种烧结式均热板的制作方法，该方法包括以下步骤：

1）、选择两端开口的空心金属圆管，沿金属圆管的轴线方向插入 中芯棒，所述中芯棒的一端设有凸台，所述中芯棒的材质为熔点和硬 度都大于金属圆管的金属，所述金属圆管的下端位于所述中芯棒的凸 台上；

2）、在中芯棒与金属圆管内壁的间隙填入金属粉末并进行烧结；

3）、烧结完成后，取出中芯棒，将金属圆管进行预压，得到未封 口、上下表面为平面的中空的扁平金属管；

4）、裁剪金属丝网，在金属丝网的表面上冲压出从中心向外发散 的沟槽，或在金属丝网的表面上裁剪出从中心向外发散的孔；

5）、将步骤4）处理后的支撑结构插入步骤3）中预压后的中空的 扁平金属管内；

6）、将成型后的扁平金属管两端的上下壁面向一起压合并留出预 留注液管连接口，再将压合处再进行氩焊封口；

7）、将注液管通过银焊的方式连接在预留注液管连接口上，并对 其进行真空测漏；

8）、通过注液管向成型后的均热板内注入工作流体，并对其进行 抽真空、封口，即完成了均热板的制作。

2.根据权利要求1所述的烧结式均热板的制作方法，其特征在于， 所述注液管采用铜、铝或不锈钢材质，注液管的外径大于1mm。