[发明专利]转移测试托盘的装置和方法、具有该装置的处理机、及制造半导体器件的工艺

权利要求书

1.一种用于转移测试托盘的装置，包括：

至少一个移动件，所述移动件包括：

推动件，推动第一测试托盘；以及

牵引件，牵引第二测试托盘上的突出部；

第二板，所述至少一个移动件安装至所述第二板；以及

第一板，所述第二板可移动地安装至所述第一板，

其中，所述推动件具有与所述第一测试托盘的一侧相接 触的头部，并且，

其中，所述牵引件具有槽，所述第二测试托盘的突出部 搁置在所述槽上。

2.根据权利要求1所述的用于转移测试托盘的装置，其中，所述 第二板以可上升且可下降的方式安装至所述第一板。

3.根据权利要求1所述的用于转移测试托盘的装置，进一步包括 机械致动器，所述机械致动器使所述移动件相对于可竖直上升 并下降的所述第二板水平移动。

4.根据权利要求3所述的用于转移测试托盘的装置，其中，所述 机械致动器移动所述移动件，以将所述移动件定位在邻近第一 位置的第二位置处或者所述第一位置处，所述第一位置是所述 移动件在转移所述第一测试托盘和所述第二测试托盘时被要 求停留的位置。

5.根据权利要求4所述的用于转移测试托盘的装置，其中，多个 所述移动件以水平移动的方式安装至所述第二板，并且多个所 述机械致动器安装至所述第二板，该多个所述机械致动器件中 的每一个使该多个所述移动件中的每一个移动。

6.一种用于转移测试托盘的装置，包括：

两个移动件，每个移动件均包括：

推动件，推动第一测试托盘；以及

牵引件，牵引第二测试托盘上的突出部；

第二板，所述两个移动件安装至所述第二板；

第一板，所述第二板以可上升且可下降的方式安装至所 述第一板；以及

至少一个机械致动器，所述机械致动器使所述两个移动 件彼此靠近或彼此远离地水平移动，

其中，所述推动件具有与所述第一测试托盘的一侧相接 触的头部，并且

其中，所述牵引件具有槽，所述第二测试托盘的突出部 搁置在所述槽上。

7.根据权利要求6所述的用于转移测试托盘的装置，进一步包 括：

两根第一传动带，所述两根第一传动带分别安装至所述 第二板的两侧，由此使所述第二板能够上升和下降；以及

转动杆，由电动机转动，所述转动杆使所述两根第一传 动带以相同的速度转动，其中，所述两根第一传动带分别连接 至所述转动杆的两侧。