[发明专利]二维平行度调整装置

说明书

技术领域

本发明有关于一种调整装置，特别是有关于一种具有二维平行度调整功能的调整装置。

背景技术

在工业应用的许多工艺中，经常需要利用一个可移动式载台将其上所载负的一平面向另一平面靠近，以利于后续的工艺的进行。而在要求较高精密度的工艺中，通常会要求位在可移动式载台上的平面与其接近的另一平面间的平行度，以确保工艺完成后的成品质量。例如：在一个具有可移动式的平面接合头(Bond Head)的接合系统中，当接合系统将平面接合头向前移动，以接触欲接合的接合物的一平面，此时若平面接合头的平面与接合物的平面之间的平行度不佳，则接合点的接合强度可能无法达到既定的要求，使得接合质量无法满足要求的水平。

一般解决前述二平面间的平面度不佳的方法，是在可移动式载台上设置一平面度调整装置。但是一般常见的平面度调整装置，均有结构复杂、架设不易、以及制造步骤繁复的缺点，因此需要设计一种新式的平行度调整装置。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种具有二维向度的平行度调整装置，该平行度调整装置是利用简单的柱体配合渐变结构的凹槽，来简化平行度调整装置的结构。

本发明另一目的在于提供一种具有所述二维平行度调整装置的接合系统，可快速地调整接合头与接合平面间的平行度，进而确保接合质量。

为了实现上述目的，本发明提供一种二维平行度调整装置，可用以调整设置在该二维平行度调整装置上的第一平面与相对于第一平面的基准平面间的平行度，该二维平行度调整装置至少包括：柱体、第一调整组件、第一推进组件、第二调整组件、以及第二推进组件。其中柱体立设在基准平面的上方，柱体的侧面设有第一凹槽与第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽分别具备第一渐变结构与第二渐变结构，而柱体在与第一凹槽的底面相对的侧面设有第一开口，柱体在与第二凹槽的底面相对的侧面则设有第二开口，且第一开口的法线与第二开口的法线互相垂直。第一调整组件则至少包括设于第一凹槽中的第一推部，以及设有第一穿孔的第一接合部。至于第一推进组件则穿设于第一穿孔而接合在柱体的侧面，其中第一推进组件与第一接合部接触，第一推进组件的推进方向还相同于第一渐变结构的渐缩方向。第二调整组件也至少包括：第二推部与第二接合部。该第二推部设于第二凹槽中，而第二接合部则设有第二穿孔。第二推进组件类似于第一推进组件的配置，第二推进组件穿设在第二穿孔而接合在柱体的侧面，第二推进组件与第二接合部接触，且第二推进组件的推进方向相同于第二渐变结构的渐缩方向。

为了实现上述目的，本发明还提供一种具有二维平行度调整功能的接合系统，至少包括：平面基台、柱体、第一调整组件、第一推进组件、第二调整组件、第二推进组件、以及平面接合头。其中柱体立设在平面基台的上方，柱体的侧面设有第一凹槽及第二凹槽，第一凹槽及第二凹槽分别具备第一渐变结构与第二渐变结构，而柱体在与第一凹槽的底面相对的侧面设有第一开口，该柱体在与第二凹槽的底面相对的侧面也设有第二开口，且第一开口的法线与第二开口的法线互相垂直。第一调整组件还至少包括设于第一凹槽中的第一推部，以及设有第一穿孔的第一接合部。第一推进组件穿设在第一穿孔而接合在柱体的侧面，其中第一推进组件与第一接合部接触，第一推进组件的推进方向相同于第一渐变结构的渐缩方向。至于第二调整组件也至少包括设在第二凹槽中的第二推部，以及设有一第二穿孔的第二接合部。而第二推进组件穿设在第二穿孔而接合在柱体的侧面，第二推进组件与第二接合部接触，且第二推进组件的推进方向相同于第二渐变结构的渐缩方向。平面接合头则接合在柱体的底面，且平面接合头的平面更与平面基台的平面相对。

本发明的优点为，通过常见的柱体结构，配合具有渐变结构的凹槽，即可达到调整二维平行度的功能，而在简化结构的同时，还可节省作业者调整平行度所需花费的时间，也可降低平行度调整装置架设所需难度。

附图说明

为了能够对本发明的观点有较佳的理解，请参照上述的详细说明并配合相应的附图。要强调的是，根据工业的标准常规，附图中的各种特征并未依比例示出。事实上，为清楚说明上述实施例，可任意地放大或缩小各种特征的尺寸。相关附图内容说明如下。

图1A是依据本发明的一实施例的接合系统的正面透视图；

图1B是依据本发明的一实施例的接合系统的侧面透视图；

图1C是依据本发明的一实施例的接合系统的柱体的立体示意图；

图2A是根据本发明的一实施例的推部的立体示意图；

图2B是根据本发明的另一实施例的推部的立体示意图。

【主要组件符号说明】