[发明专利]基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板处理装置，将未处理的基板从装载部提供给清洗处理部，并在此处进行清洗处理后储存于卸载部。 

背景技术

在用于液晶显示面板的玻璃制的基板上形成有电路图案。在基板上形成电路图案，采用平版印刷技术。平版印刷技术如众所周知，在所述基板上涂保护层，并通过形成有电路图案的模版，向该保护层照射光。 

然后，去除保护层的光未照射的部分或光照射的部分，并对去除保护层的部分进行蚀刻。并且，蚀刻之后将从基板中去除保护层的一系列工序反复多次，由此在所述基板上形成电路图案。 

在这种平版印刷技术中，将在清洗处理部中清洗处理过的基板提供给成模处理部或激元激光器退火部等干处理部而进行干处理。 

以往，在对基板进行各种处理的处理装置中，如专利文献1所述，将多个处理部配置成一列，从其一端提供并搬送基板，并在各处理部依次进行对基板的处理。而且，在位于处理装置的另一端(最后端)的处理部中处理的基板从该最后的处理部搬出。 

但是，根据这种结构，对处理装置提供未处理的基板的位置、和搬出处理过的基板的位置成为处理装置的一端和另一端。因此，在将处理装置处理过的基板提供给下一个工序时，有时不能效率很好地进行该作业，或工作者的负担增大。 

因此，在多个处理室配置成一列的处理装置的侧方或上方配置返回用输送机，通过所述输送装置将在处理装置的另一端的处理室中处理过的基板返回给处理装置的一端侧。 

【专利文献1】日本特开2004-063201号公报 

若在处理装置的侧方或上方配置输送机，则可以将在所述处理装置中处理过的基板从该处理装置的另一端侧返回给一端侧，因此向处理装置提供基板的位置和接收处理过的基板的位置几乎相同，所以能够提高操作性和减轻工作者的负担。 

但是，若为了将处理过的基板返回给提供侧而将输送机与处理装置区别开来配置，则需要为此的设置空间，因此可能导致装置整体大型化、或复杂化，这并不是所希望的。尤其，最近由于存在基板大型化的倾向而导致用于搬送基板的输送机也大型化，因而装置整体的大型化变得明显。 

发明内容

本发明提供一种基板处理装置，该装置利用相同的搬送单元进行对处理部的基板的搬送、和在处理部处理过的基板的搬出，由此不使装置整体大型化，就能够在相同位置进行对清洗处理部的基板的提供和搬出。 

本发明是一种基板处理装置，利用处理液处理基板，该装置的特征在于，包括：搬送单元，将所述基板相对于水平方向直线地进行往返搬送；交接部，配置于该搬送单元的一端侧；装载部，配置于该交接部的一侧的一端部，通过所述交接部将收纳的未处理的基板提供给所述搬送单元的所述一端侧；清洗处理部，利用处理液对从该装载部提供并由所述搬送单元搬送的未处理的基板进行清洗处理；湿润处理部，在将未处理的基板提供给所述清洗处理部之前，利用处理液将该基板湿润；干燥处理部，在由所述搬送单元将在所述清洗处理部处理的所述基板返回给所述装载部侧而搬出时，向该基板喷射气体来进行干燥处理；以及卸载部，与所述装载部并排配置于所述交接部的所述一侧的另一端部，通过所述交接部将所述由干燥处理部处理过的基板进行储存。 

根据本发明，由于通过搬送单元往返搬送基板，因此通过一个搬送单元就可以在相同位置上进行对处理部的基板的供给、和在处理部处理过的基板的搬出。 

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的处理装置的结构简图。 

图2是表示设置在清洗处理部的旋转体的侧视图。 

符号说明 

1 交接部                  2 装载部         3 卸载部 

4 机器人装置(交接单元)    6 湿润处理部     7 箱 

8 辊式输送机(搬送单元)    9 搬送辊         11 清洗处理部 

12 旋转体                 14 支承辊        16 正反驱动源 

21 液刀(湿润处理部)       22 气刀(干燥处理部) 

23 干处理部 

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的一个实施方式。