[发明专利]磁性传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种磁性传感器的制造方法，包括步骤：

形成顺序层叠在基板上的自由层、导电层和固定层以形成巨磁电阻元 件，其中第一磁性层、Ru层、第二磁性层和反铁磁层顺序层叠在所述导电 层上以形成所述固定层；以及

执行磁化热处理，用于施加磁场到所述固定层从而固定其磁化方向，其 中所述第一磁性层和所述第二磁性层被磁化，而且维持其磁化方向为反平行 磁化状态，

其中在所述磁化热处理期间施加到每个固定层的磁场强度范围从10mT 到200mT。

2.如权利要求1所述的磁性传感器的制造方法，其中所述固定层按照 所述第一磁性层与所述第二磁性层厚度不同的方式来形成。

3.如权利要求1所述的磁性传感器的制造方法，其中所述第一磁性层 的厚度大于所述第二磁性层的厚度。

4.如权利要求1所述的磁性传感器的制造方法，其中所述固定层按照 所述Ru层的厚度在至的范围的方式来形成。

5.如权利要求1所述的磁性传感器的制造方法，其中产生所述磁场的 磁体阵列置为邻近所述基板的背侧，所述基板的表面上布置有所述巨磁电阻 元件。

6.如权利要求1所述的磁性传感器的制造方法，其中灵敏度方向彼此 不同的第一巨磁电阻元件和第二巨磁电阻元件形成于所述基板上，在所述基 板上预先形成有平面表面和至少一个斜坡，使得所述第一巨磁电阻元件使用 所述平面表面来形成，且所述第二巨磁电阻元件使用所述至少一个斜坡来形 成。

7.如权利要求1所述的磁性传感器的制造方法，其中在所述磁化热处 理期间施加到每个固定层的磁场强度范围从20mT到80mT。