[发明专利]切割方法

权利要求书

1.一种切割方法，其是使用切削装置来进行被加工物的切割的切割方法，上述切削装置具有：卡盘工作台，其保持被加工物；切削构件，其具有对保持在上述卡盘工作台上的上述被加工物实施切削加工的切削刀片；切削水供给构件，其在切削加工时向上述被加工物或上述切削刀片供给切削水；摄像构件，其在上述被加工物和物镜之间的空间中导入有流体的状态下，通过上述物镜对由上述切削构件对上述被加工物实施切削加工而形成的加工槽进行摄像；以及控制构件，其对通过上述摄像构件摄像得到的上述加工槽的图像数据进行处理，在上述切削装置中，在将上述切削构件的轴心方向作为Y轴方向时，上述卡盘工作台能够在与Y轴方向正交的X轴方向上移动，上述切割方法的特征在于，

在切割过程中一直读取上述加工槽的图像数据，

在读取到的上述加工槽的图像数据的Y轴方向的一个槽边缘的Y坐标的最大值与另一槽边缘的Y坐标的最小值的差超过预先设定的阈值的情况下，发出警告。

2.根据权利要求1所述的切割方法，其特征在于，

使用液体来作为导入的上述流体。

3.根据权利要求1所述的切割方法，其特征在于，

使用对上述被加工物喷吹的空气来作为导入的上述流体。