[发明专利]芯片标示装置

说明书

技术领域

本发明是有关于一种芯片标示装置，特别是可产生电子硅片图以进行异常芯片标示的芯片标示装置。

背景技术

在进行异常芯片标示的公知技术中，操作员是以显微观测仪目视检测一硅片上异常芯片，根据异常芯片位置而在一纸本硅片图上对应位置予以标示，如图1所示，为芯片标示作业的公知技术。当完成异常芯片11在纸本硅片图10的标示后，再根据此纸本硅片图10上异常芯片11位置一一点入芯片点测信息系统(Chip Probing Information System，简称CPIS)12，然而当纸本硅片图10上的异常芯片11数量愈多，操作员点除异常芯片的时间则需愈长。此外，操作员以目视标示异常芯片在纸本硅片图10的过程，容易发生人为标示不清或错误，造成不良硅片图的产生。因此，如何改善异常芯片的标示作业，使提高其正确性与处理效率，实为业界急需解决的课题。

发明内容

本发明的目的是提供一种芯片标示装置，以解决上述公知技术不尽理想之处。

为实现上述目的，本发明提供的芯片标示装置，用以标示一硅片的芯片，其包括有一移动平台(movable stage)，用以置放该硅片，并提供该硅片的位置移动，该硅片具有复数个芯片；以及一显微观测仪(micro-observation instrument)，用以供操作者观察该等芯片以进行标示；其中：

该芯片标示装置进一步包含一光学量测模块(optical measuringmodule)、一显示模块与一暂存模块(storage module)，该暂存模块用以储放该硅片的属性数据(attribute data)；而该显示模块用以显示该硅片的电子硅片图，该电子硅片图包含有复数个芯片图示；

其中，经由操作该移动平台，使该显微观测仪标定(mark)该硅片上的特定芯片，该光学量测模块根据该显微观测仪针对特定芯片的标定以提供其对应的坐标数据，并输出该特定芯片的位置信号(position signal)至该显示模块，并提供操作者(operator)直接在该电子硅片图的特定芯片上进行标示作业。

所述的芯片标示装置，其中，该显示模块可为一触控显示器或液晶显示器，而该显示模块更进一步提供一交叉的十字线，以标示该特定芯片在该电子硅片图的位置，以及更进一步提供一特定的颜色区块，以标示该特定芯片在该电子硅片图的位置。

所述的芯片标示装置，其中，该光学量测模块包括两支光学尺，分别位在该移动平台的水平方向与垂直方向。

所述的芯片标示装置，其中，进一步包含有一读取模块，以读取一硅片的属性数据，包含硅片缺角方向、硅片有效芯片数以及硅片编号等。

所述的芯片标示装置，其中，进一步包含有一输入转换模块与一输出转换模块，其中该输入转换模块是将该硅片的属性数据转换为一电子硅片图，而该输出转换模块是将标示作业完成后的电子硅片图转换成另一个硅片属性数据后输出。

所述的芯片标示装置，其中，该输入转换模块经由一预设的(predetermined)二点位置标定程序(two-position marking procedure)，将该硅片的属性数据转换为一电子硅片图，而该预设的二点位置标定程序包括：

由该显微观测仪先从该硅片左上方找出第一颗有效芯片，而标定为第一芯片；以及

向右下方移动至最后一颗有效芯片，标定为第二芯片；

由此，将上述芯片位置结合该硅片的属性数据可以换算出该硅片的位置偏移、角度偏移及每一颗芯片的节距(pitch)，用以转换为一电子硅片图。

所述的芯片标示装置，其中，该输入转换模块经由一预设的(predetermined)三点位置标定程序(two-position marking procedure)，将该硅片的属性数据转换为一电子硅片图，而该预设的三点位置标定程序包括：

由该显微观测仪先从该硅片左上方找出第一颗有效芯片，而标定为第一芯片；

向右平移至任一颗芯片，而标定为第二芯片；以及

向右下方移动至最后一颗有效芯片，标定为第三芯片；

由此，将上述芯片位置结合该硅片的属性数据可以换算出该硅片的位置偏移、角度偏移及每一颗芯片的节距(pitch)，用以转换为一电子硅片图。

所述的芯片标示装置，其中，该输入转换模块经由一预设的(predetermined)四点位置标定程序(two-position marking procedure)，将该硅片的属性数据转换为一电子硅片图，而该预设的四点位置标定程序包括：