[发明专利]液体喷头及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种从液体喷射口喷射液体的液体喷头，以及涉及一种制造该液体喷头的方法。

背景技术

为了通过喷射墨滴执行打印的喷墨型记录设备实现高分辨率打印，有必要增加喷头中形成的喷嘴数目，以及此外以高密度布置喷嘴。在使用压电元件的喷头中，压力室形成为对应于各个喷嘴。压力室的数目随喷嘴数目增加而增加。以高密度布置压力室的一种可能方法是减小压力室的平面面积。但是，仅仅减小压力室的平面面积导致驱动效率的退化。因此，例如，公开号2002-248765的日本未审查专利提出设计一种平坦形状的压力室，由此在实现压力室的高密度布置的同时，防止驱动效率的退化。

发明内容

但是，在上述公开文献中公开的喷头中，如从图1和2中清楚地看出，电连接到驱动信号源的电衬垫被布置为与压力室的侧壁相对，即，被布置在与压力室相对的区域外面。因此，在俯视图中，除用于压力室的区域之外，还需要保证用于电衬垫的区域。这对于以高密度布置压力室造成了困难。

本发明的目的是提供一种有效地允许以高密度布置压力室的液体喷头，以及提供一种制造该液体喷头的方法。

根据本发明的第一方面，提供了一种液体喷头，包括通道部件、一个或多个隔膜、多个压电层、多个单独电极和多个焊盘。该通道部件包括多个单独的液体通道和一平面，每个液体通道具有液体喷射开口和对应于该液体喷射开口的压力室，并且在该平面上形成多个开口以露出每个压力室的内部空间。一个或多个隔膜被固定到该平面，以便封闭该开口。多个压电层相对于沿该平面的方向互相隔开，并形成在该隔膜上，以便与各个压力室相对。在各个压电层上形成多个单独电极。多个焊盘被电连接到各个单独电极，并且多个焊盘距压电层表面的高度高于单独电极距压电层表面的高度。在更远离该平面的部分在每个压力室的侧壁形成突出，由此增加该内部空间沿该平面的长度。当在垂直于该平面的方向上观看时，每个焊盘的至少一部分重叠于对应于该焊盘的压力室的突出。

在第一方面中，在该焊盘放置于该突出上面。与该焊盘放置于与压力室相对的区域外面时的情况相比较，这使压力室能够以高密度布置。

根据本发明的第二方面，提供一种制造液体喷头的方法，包括以下步骤：制备包括多个单独的液体通道和一平面的通道部件，每个液体通道的具有液体喷射开口和对应于该液体喷射开口的压力室，并且在该平面上形成多个开口以露出每个压力室的内部空间；将一个或多个隔膜固定到该平面，以便封闭该开口；在该隔膜上放置压电层，以便与该压力室相对；在该压电层上放置多个单独电极，以便与各个压力室相对；形成电连接到各个单独电极并且距压电层表面的高度高于单独电极距压电层表面的高度的多个焊盘；以及将该压电层分为与各个压力室相对的多个部分，且该多个部分相对于沿该平面的方向互相隔开。在制备通道部件的步骤中，在每个压力室的侧壁上形成突出，由此在更远离该平面的部分，增加该内部空间沿该平面的长度，此外每个开口被安置在多个四边形区域的每一个内，该平面被多个四边形区域切分为栅格。在形成焊盘的步骤中，每个焊盘整体地容纳在该四边形区域内，以及当在垂直于该平面的方向上观看时，使每个焊盘的至少一部分重叠于对应于该焊盘的压力室的突出，。

在第二方面，焊盘被整体地容纳在该四边形区域内。因此，在划分的步骤中，该压电层可以被笔直分开。由此，该压电层可以被切割机容易地分开。

附图说明

从以下结合附图的描述，将更完全地显示本发明的其他及更多目的、特点和优点，其中：

图1是示出了包括根据本发明实施例的喷墨头的喷墨打印机的一般结构的示意性侧视图；

图2是图1所示的喷墨头的沿其宽度取得的剖面图；

图3是图2所示的喷头主体的俯视图；

图4是图3中由交替的长短虚线围绕的区域的放大视图；

图5是沿图4的线V-V取得的剖面图；

图6是图5中由交替长短虚线围绕的区域的放大视图；

图7是图6所示的致动器的俯视图；

图8示出了一个致动器组内布置的部分致动器和压力室的说明性视图；

图9示出了制造喷头主体的方法的流程图；

图10是对应于图6的示出了突出的第一变形的视图；

图11是对应于图6的示出了突出的第二变形的视图；

图12是对应于图6的示出了突出的第三变形的视图；

图13是对应于图7的示出了焊盘位置的第一变形的视图；

图14是对应于图7的示出了焊盘位置的第二变形的视图；

图15A示出了单独电极的变形的俯视图；以及