[发明专利]刚性增强了的微机械器件无效
| 申请号： | 200810090383.0 | 申请日： | 2008-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101279708A | 公开（公告）日： | 2008-10-08 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·克洛泽;克里斯蒂安·德拉伯 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 刚性 增强 微机 器件 | ||
1.一种微机械器件，包括：
可偏转微机械功能结构(1)；以及
将所述微机械功能结构定位在所述微机械器件中的非刚性偏压悬挂件(2)。
2.如权利要求1所述的微机械器件，其中所述可偏转微机械功能结构(1)包括第一梳齿电极(1a，1b)，所述微机械器件包括第二梳齿电极(31，3b)，且所述非刚性偏压悬挂件(2)相对于第二梳齿电极(3a，3b)定位第一梳齿电极(1a，1b)。
3.如权利要求1所述的微机械器件，其中所述可偏转微机械功能结构(1)是一维或二维可偏转并且可扭转振动的元件。
4.如权利要求1所述的微机械器件，其中所述可偏转微机械功能结构(1)是可平移振动的元件。
5.如权利要求1所述的微机械器件，其中所述非刚性偏压悬挂件(2)通过悬挂件(2)中的内部应力被偏压。
6.如权利要求1所述的微机械器件，其中所述非刚性偏压悬挂件(2)通过外部力的作用被偏压。
7.如权利要求1所述的微机械器件，包括偏压所述非刚性偏压悬挂件(2)的结构(22a，22b，22c，22e)。
8.如权利要求7所述的微机械器件，其中所述结构(22a，22b，22c，22e)对非刚性悬挂件(2)施加压缩应力和/或拉伸应力。
9.如权利要求8所述的微机械器件，其中所述结构(22a，22b，22c，22e)限定内部应力梯度以便对非刚性悬挂件(2)施加压缩应力和/或拉伸应力。
10.如权利要求1所述的微机械器件，其中所述可偏转微机械功能结构(1)具有内部应力，所述内部应力对非刚性悬挂件(2)施加压缩应力和/或拉伸应力以便偏压所述非刚性悬挂件(2)。
11.如权利要求1所述的微机械器件，包括外壳，所述非刚性悬挂件(2)安装在所述外壳上。
12.如权利要求11所述的微机械器件，包括布置在所述外壳内的作用器，所述作用器能够被操作而偏压所述非刚性悬挂件(2)。
13.如权利要求12所述的微机械器件，其中所述作用器根据压电、热、静电、磁性限制原理或其它物理化学原理运行。
14.如权利要求1所述的微机械器件，其中所述微机械器件是以共振方式操作的微系统，所述微系统包括静电驱动器和扭簧悬挂件。
15.如权利要求1所述的微机械器件，其中所述微机械器件是准静态操作的微系统，所述微系统包括静电驱动器和扭簧悬挂件。
16.如权利要求1所述的微机械器件，其中所述非刚性偏压悬挂件(2)是扭簧或弯曲弹簧。
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