[发明专利]龙门式光罩清洁装置

说明书

技术领域

本发明属清洁装置技术领域，是对现在的改进，具体涉及一种龙门式清洁光罩之装置。

背景技术

随着半导体产业的蓬勃发展，晶圆代工已经成为全球无法取代的技术之一，再加上电子组件的尺寸愈来愈小，只要在制程上有一点小瑕疵，就会影响电路效能，因此在制程中对于环境的清洁度要求高，若不严格把关，将来产品的质量问题，势必受到威胁。

在半导体制程中，有一道曝光制程，是先将一具有图案之光罩置于晶圆的上方，再利用一曝光光源透过光罩射于一晶圆上，之后将此晶圆浸入一显影液中，就可以在晶圆上看到光罩的图案了。所以在制程中必须注意到光罩表面是否清洁，一般光罩表面都存在很多肉眼看不见的粒子，如果在尚未清洁掉这些粒子就进行曝光，那么就可能显出与光罩图案不一样的图案了。现有技术是先利用曝光机检测出光罩表面是否有粒子存在，接着就用人工方式进行清洁，如第一图所示，包含使用氮气枪喷于置于光罩承载装置10上的光罩12表面；但是因为人为近距离接触或多次清洁光罩的关系，造成光罩容易损坏并提高其汰旧换新的速度，这样会增加成本。

从台湾公开号200702265专利技术。一种基板用的搬运除尘装置，虽然与本发明都有清洁的作用，不过此专利的除尘单元并没有如本发明有一风刀装置，它所喷出来的洗涤空气较无力道，而且该除尘单元亦无法自由移动，所以在清洁时，对于基板表面上的粒子较无法均匀地清洁，在实施当中效果有限。

还有台湾公开号I287472专利是一种尘埃清净器，虽然也与本发明相关，但是它亦没有风刀装置，只有藉由空气喷出室和空气吸入室将将尘埃带走，而且洗涤空气只能藉一喷出隙缝喷出，换句话说，喷出方向只有单一方向，如此在清洁之时效果亦受限。

发明内容

本发明的目的是避免上述现有技术中的不是之处而提供的一种龙门式光罩清洁装置，该装置可以将光罩上的粒子或杂质清除干净，避免人为多次接触光罩，增加制程上产出的速度。

本发明的目的可通过下列的措施来实现：

本发明包含至少二支撑装置，其系设置于一地面上；一风刀装置，其系装设在该支撑装置间；以及一控制装置，其系控制该支撑装置与该风刀装置之整体架构，控制所有组件动作。

上述所述支撑装置下端为固定式，更包含一支撑架，固定于该地面之上，并连结该二支撑装置。

上述所述固定式支撑装置，包含至少二固定座，以固定该支撑装置于该地面上。

上述所述支撑装置为下端可动式，使其方便移动搬移。

上述所述可动式支撑装置之下端为轮轴式，使其方便滑动搬移。

上述所述可动式支撑装置之下端为机械式，可由该控制装置控制该龙门式光罩清洁装置移动。

上述所述支撑装置之内侧设置一光罩承载固定装置，用来固定该光罩承载装置。

上述所述光罩承载固定装置为至少二导轮，用来固定该光罩承载装置。

上述所述风刀装置更包含：至少一风刀，位于该支撑装置间；至少一吹气管路，一端接续该风刀出风口，另一端接续一进气装置；至少一吸气管路，一端接续一吸气口，另一端接续一出气装置。

上述所述风刀装置为可移动式，使该风刀装置可上下、左右移动及该风刀角度偏转，让清洁光罩时更为干净。

上述所述风刀装置更包含至少二调节器，其系位于该支撑装置与该风刀之间。

上述所述调节器可为手动旋钮式调整器。

上述所述调节器可为机械式自动调整器，可由该控制装置控制。

上述所述风刀可为条状式或片状式。

上述所述吹气管路可架设于该支撑装置内，沿该支撑装置内接续该进气装置。

上述所述吹气管路可架设于该支撑装置外，沿该支撑装置外接续该进气装置。

上述所述吸气管路之该吸气口端装设于该支撑装置上，避免吹出气流于支撑架与风刀间造成扰流而将异物扩散造成再次污染。

上述所述吸气管路之吸气口端装设于风刀上及风刀侧边，避免吹出气流于该支撑架与该风刀间造成扰流而将异物扩散造成再次污染。

上述所述控制装置可固定于该支撑装置上。

上述所述控制装置可固定于该风刀装置上。

上述所述还包含一讯号线，连接该支撑装置以及该控制装置。

上述所述还包含一讯号线，连接该风刀装置以及该控制装置。

上述所述控制装置可为一无线传输系统，装设于该支撑装置上，利用无线传输控制该无线传输系统作动。

上述所述控制装置可为一无线传输系统，装设于该风刀装置上，利用无线传输控制该无线传输系统作动。