[发明专利]向磁盘流动的润滑剂蒸汽以在磁盘上形成润滑剂涂层基本防止在流动路径表面上凝结的方法和装置

权利要求书

1.一种装置，其用于将润滑剂涂层应用于选择性固定到真空腔室的保持器上的适当位置的磁盘上，同时可形成润滑剂涂层的蒸汽被应用于其中一个磁盘上，同时该磁盘固定在所述保持器的适当位置，该装置包括：

贮存可蒸发而形成蒸汽的液体的贮液器；

将所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽的加热器；

所述润滑剂蒸汽从所述贮液器到所述保持器上的磁盘的流动路径；该流动路径包括(a)在所述贮液器和所述磁盘之间的有孔扩散体同时该磁盘处在该流动路径中；以及(b)在所述贮液器和所述有孔扩散体之间的蒸汽腔室，该蒸汽腔室包括(i)沿与所述贮液器和所述磁盘之间的直线路径相同方向延伸的第一壁同时该磁盘处在所述流动路径中的适当位置以及(ii)用于在所述加热器和所述贮液器之间提供热传导路径的第二壁；所述流动路径设置在真空条件下同时所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽；以及

用于有效控制所述第一壁相对于所述第二壁的温度的控制器设置使得所述第一壁和第二壁之间存在温度差，该温度差从而避免在所述第一壁上的大量凝结。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一壁和第二壁设置为在所述第一壁和第二壁之间存在相对高的热阻抗。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一壁和第二壁包括在具有相对高的热传导率的单独结构中，所述相对高的热阻抗包括在单独结构中的第一壁和第二壁之间的凹口，使得在第一和第二壁之间的单独结构存在相对小的容积。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述单独结构由铜制成。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器包括分别用于所述第一壁和第二壁的第一温度传感器和第二温度传感器，以及设置为响应所述第一温度传感器和第二温度传感器来加热所述第一壁的加热器，该加热器响应所述第二温度传感器而加热所述贮液器中的液体。

6.一种装置，用于将润滑剂涂层应用于选择性固定到真空腔室的保持器上的适当位置的磁盘上，同时可形成润滑剂涂层的蒸汽被应用于其中一个磁盘上，同时该磁盘固定在所述保持器的适当位置，该装置包括：

贮存可蒸发而形成蒸汽的液体的贮液器；

加热所述贮液器中的液体成润滑剂蒸汽的第一加热器；

所述润滑剂蒸汽从所述贮液器到所述保持器上的磁盘的流动路径；该流动路径包括(a)在所述贮液器和所述磁盘之间的有孔扩散体同时该磁盘处在该流动路径中，以及(b)在所述贮液器和所述有孔扩散体之间的蒸汽腔室，该蒸汽腔室包括(i)沿与所述贮液器和所述磁盘之间的直线路径相同方向延伸的第一壁同时该磁盘处在所述流动路径中的适当位置以及(ii)用于在所述加热器和所述贮液器之间提供热传导路径的第二壁；该流动路径设置在真空条件下同时所述贮液器中的液体加热成润滑剂蒸汽；以及

用于有效控制所述第一壁相对于所述第二壁的温度的控制器设置，该控制器包括(a)用于分别感测所述第一壁和第二壁的温度的第一传感器和第二传感器，以及(b)用于第一壁的第一加热器和第二加热器，所述第一加热器设置为响应所述第二传感器以及所述第二加热器设置为响应所述第一传感器和第二传感器。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一壁和第二壁设置为使得在所述第一壁和第二壁之间存在相对高的热阻抗。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第一壁和第二壁包括在具有高热传导率的单独结构中，所述相对高的热阻抗包括在单独结构中的第一壁和第二壁之间的凹口使得在第一和第二壁之间存在单独结构的相对小的容积。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述单独结构由铜制成。